プラズマ効果を色の変化で簡単検知
プラズマインジケータ『PLAZMARK®』
画期的なプラズマ可視化ツールを是非ご覧下さい！
描画材料・文具メーカーでおなじみの弊社ですが、2014年に「簡単」「確実」「低コスト」で、「プラズマ見える化®」を実現するプラズマインジケータ™ “PLAZMARK®” を開発しました。プラズマの処理強度に応じてプラズマの状態を「色」で可視化できます。会場では技術者が説明員として対応させていただきます。サンプルも展示しますので是非来場いただき現物をご確認ください。
半導体業界でご要望の多い、清浄性を高めた「プラズマインジケータ™ ウエハ型メタルフリータイプ」を中心に展示致します。
＜プラズマインジケータ™ 商品ラインナップ＞
PLAZMARK® ウエハ型
ウエハ形状をしたプラズマインジケータになります。お使いのウエハと同様のハンドリングで装置に設置でき、手軽にプラズマ面内分布を御評価頂けます。 従来販売品のセラミックタイプに加え、新商品としてメタルフリータイプが登場。セラミックタイプは色材に一切有機物を用いておらず、400℃の耐熱性を実現。メタルフリータイプは金属不純物を極限まで排除。金属飛散が気になるお客様でもご安心してご利用頂けます。
PLAZMARK® 耐熱性ラベル
200℃までの高温プラズマプロセス向けのプラズマインジケータ™です。手軽にどこにでも貼り付けることができるラベル型になっておりますが、独自の材料技術により極力放出ガスも低減させております。感度は2種類の中からお選び頂けます。
PLAZMARK® クリーニング用
クリーニング、接着/接合前処理等の汎用の低温プラズマプロセス向けに開発されたプラズマインジケータ™です。用途に応じてO2クリーニング用、Arクリーニング用の２タイプあります。両タイプそれぞれにプラズマ強度に応じて変色感度を各３種類、さらに使い方に応じて、形状もカード型、ラベル型、シート型の各３種類用意しております。これらを組み合わせた多彩な商品ラインナップからお選び頂けます。
PLAZMARK® デスミア用
BVH、THV穴開け加工時のスミア除去に利用されるプラズマデスミア処理用のプラズマインジケータ™になります。従来のラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力なプラズマに対応します。フレキシブルで貼付可能なためロールtoロール処理でもお使いいただけます。再剥離性の向上など、使いやすさをアップしてリニューアルしました。
PLAZMARK® 大気圧プラズマ用
洗浄や各種前処理、表面改質に用いられる大気圧プラズマプロセス向けのプラズマインジケータ™です。非常に高感度な色材を使用しており、プラズマ以外にUVオゾン洗浄でもご使用頂けます。感度は2種類の中からお選び頂けます。形状もストライプ形状で貼付可能なロングラベル型と、面内分布評価に最適なシート型を用意しております。
サクラクレパスは、”WE ARE COLORING THE FUTURE” をモットーに、「こころ」のある「色」を通して、皆さまの暮らしを、そして未来を鮮やかに彩ります。
お客様のご要望に応じた製品を展示しておりますので、当社ブースへぜひお立ち寄り下さい。
※プラズマインジケータ、PLAZMARK、は株式会社サクラクレパスの商標または登録商標です。