mini CORI-FLOW™ シリーズは、コリオリ測定原理に基づく正確でコンパクトなマスフローメータ/コントローラです。mini CORI-FLOW™ は独自のループ形状のシングルチューブを振動機構部に採用し、優れた流量計測性能を実現しています。流体が振動チューブを通過するとコリオリ力により周波数シフトが生じ、センサーで検出されPCボードで処理されます。出力信号は真の質量流量に比例しています。コリオリ質量流量計測は高速、正確、双方向的であり、容易に導入可能です。mini CORI-FLOW™の特徴として、密度と流体温度の出力機能も備えております。

ブロンコストのコリオリ式マスフローメータ/コントローラML120は世界最小の流量レンジにおいて最高のパフォーマンスを発揮いたします。

最小流量レンジ 50…5000 mg/h
最大流量レンジ 2…200 g/h

ML120のコリオリセンサーは長期連続運転においても変動がまったくないかわずかであるため、システムの不稼動時間の低減が可能です。

コンパクトマスフローコントローラ(MFC)

MFCはマイクロプロセッサ搭載のプリント基板に信号変換機能、フィールドバス機能、デジタルタイプのコントローラを内蔵し、圧電素子を用いたピエゾバルブを搭載し正確な質量流量制御を実現しております。流量コントローラはわずか2秒以下で安定した流量に到達します。これらの技術を組み込んだコリオリ式マスフローコントローラは、前駆体、添加物、溶液の高速・連続的なドージングや充填過程において理想的なデバイスです。

特徴

• 流体の物理的・化学的性質によらない直接質量計測
• 高速応答
• 高精度 (液体：読み値の0.2%、 気体：読み値の0.5%)
• 質量流量に加え、密度と流体温度の出力が可能
• 内容積が小さくコンパクトなデザイン
• 設置が容易 (気泡の混入のリスクが小さい)
• マルチレンジ機能：デジタル通信により現場でのレンジ変更が可能 (スパン1:4000) 

"マルチバス" デジタルマスフローメータ/コントローラ

mini CORI-FLOW™ シリーズML120コリオリ式マスフローメータ/コントローラはアナログ/RS232デジタル通信を標準で装備し、オプションの通信基板を追加することでCANopen^®, PROFIBUS DP, DeviceNet, Modbus-RTU/ASCII, EtherCAT, FLOW-BUSにも対応可能です。

適用例

• 半導体分野
• 太陽電池、フラットパネル(FPD)技術
• 食品、医薬品産業
• 医療、微量化学分析、分析装置
• 流量校正設備

IQ⁺FLOW^®
微小流量フロー・圧力測定・制御用マニフォールド・ソリューション

序

コンパクトな流量・圧力測定・制御機器は、装置メーカー様など多くのお客様に求められています。
かつては、旧来のマスフロー/圧力メータ/コントローラは約1.5"のフットプリントをもっていました(NeSSI^TMシステムの場合)。TNO-TPD (オランダのトップレベルの応用物理学研究所)との協働により、Bronkhorst High-TechはIQ+FLOW^®マスフローセンサーを開発しました。MEMS (micro electro mechanical systems, micro solid state technology)技術により、ブロンコストはマスフロー/圧力メータ/コントローラのフットプリントを僅か0.75"に低減することに成功しました。

お客様向け特別デザイン

The IQ⁺FLOW^®シリーズには下記の機能モジュールがございます。

• マスフローメータ (流量フルスケール10 ml_n/min～5 l_n/min程度)
• 圧力メータ (圧力～100 psi程度)
• コントロールバルブ
• 三方バルブ
• シャットオフバルブ
• フィルタ
• ガス混合チャンバ

お客様の御用途にあわせ、これらのモジュールを組み合わせ、コンパクトなマニフォールドに搭載致します。設計はお打合せの上で決定致します。マニフォールドはアルミニウムまたはステンレススチールから選択頂け、ガスまたは液体に適する入出口ポート(メネジ)を含めます。

多用なモジュールとソリューションがございますので、最適なご提案のために最寄りの販売店・代理店またはメーカーにお問合せ下さい。

特徴

• 高品質
• 高いゼロ点の安定性
• コンパクトな構成による高いスペース効率
• 経済的なソリューション
• 優れた費用対効果
• チューブレス構成により、リークポイントの削減
• トップマウント構造で、上部からアクセス可能でメンテナンスが容易
• 事前テスト済みの「プラグ&プレイ」機器で、お客様ご自身の評価試験削減
• アナログ入出力とデジタル通信(RS232, RS485)

適用事例(分析機器)

フットプリント0.75"のコンパクトな機器は、様々な装置にご利用頂けます。

• ガスクロマトグラフ(GC)のインジェクター部の流量・圧力コントロール
• ガスクロマトグラフ(GC), 高速液体クロマトグラフ(HPLC)の検出部の流量制御
• 水素炎イオン化検出器(FID)の検出部の流量制御

EL-FLOW^® Prestige - 新世代のマスフローメータ・コントローラ

序

最新のガス用サーマル式マスフローメータ・コントローラEL-FLOW^® Prestige（エルフロー・プレステージ）は、汎用性と使い勝手の点で画期的な進化を遂げました。お客様にとっての主な利点は下記の通りです。

• 流量信号処理部の進歩
• プロセス環境変化の影響を受けにくい非常に安定した流量制御領域
• 進化した制御バルブ構造
• PCボード上にてガスのコンバージョンが可能
• 消費電力を大幅に低減
• 顧客ニーズにあわせた構成や機能の追加が可能

最小レンジ 0.014...0.7 ml_n/min
最大レンジ 2...100 l_n/min

お客様のプロセス環境に適合するマスフローメータ・コントローラ

EL-FLOW Prestigeマスフローコントローラの制御性能は、オーバーシュートなしで素早く設定値変化に追従するように工場にて調整されます。さらに、コントローラは機械的な衝撃や圧力のゆらぎ(同じシステム内にあり、ガスが経由する機器により起こり得ます)に対し高い耐性をもっております。

さらにお客様のプロセス環境にあわせ、オプションで更なる高速応答(セトリング時間t98%=500 ms(最高値))や更にスムーズな制御を実現するよう設定も可能です。コントローラの動作特性は、現場にてFlowTune™またはFlowPlot™を用いて調整することも可能です。フリーソフトウェアFlowPlot™は機器の診断、アラーム(警報)設定、カウンター(積算)設定にもご利用頂けます。

環境にあわせて選択可能なI/Oオプション

D-サブ9ピンコネクタの設定により、多様な入出力(I/O)に対応可能です。標準のRS232通信と多様なアナログ信号(0...5/10 Vdc, 0/4...20 mA)に加え、オプションでRS485通信、デジタル周波数/パルス出力、警報出力/リセット、バルブ開閉、アナログのバルブ出力を選択し追加できます。さらに、内蔵通信ボードにより多様なフィールドバス対応が可能です：CANopen^®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT^® and FLOW-BUS

FLOW-BUSはRS485通信に基づくフィールドバスの1つであり、Bronkhorst^® がマスフロー計測制御のためにデザインしたものです。更に、LabVIEW™ (National Instruments社のグラフィックソフトウェア)ユーザーの利便ため、FLOW-BUS™機器向けに動作試験済みのプラグ&プレイドライバを提供可能です。デジタル"マルチバス"通信についての詳細はこちら

所有・保全コストの削減

EL-FLOW Prestigeはマルチガス・マルチレンジ (MG/MR)機能*により高い順応性を有しております。100ガス対応に拡張されたMG/MR機能はソフトウェアFlowTune™またはPLCから容易に設定可能であり、設定の度に機器をシステムから取り外す必要がありません。

EL-FLOW Prestigeのユーザーは現場で機器のレンジ変更が可能ですので、取り外して再校正を行う時間と費用を削減できます。さらに、OEM用途ではスペア用在庫の種類・点数を劇的に減らすことができ、コスト削減につながります。

* EL-FLOW Prestigeの運転温度範囲は-10...70℃ですが、MG/MR機能は0...70℃の範囲でご使用頂けます。

カスタマイズ可能な入出力信号

指示設定のためのアナログ／RS-232／フィールドバス通信I/Oに加え、EL-FLOW PrestigeはDサブ9ピンコネクタの5番ピンの構成をカスタマイズすることができます。デジタル周波数/パルス出力、アラーム出力/リセット、外部設定信号の処理、バルブパージ/閉塞、バルブ制御アナログ信号といった拡張機能をもたせることが可能です。型式に示されるいくつかのオプションに加え、要求に応じて様々な機能を盛り込むことができます。

特徴

• 高精度 (標準 0.5% Rd プラス 0.1% FS)
• レンジアビリティ (デジタルモード時) 最大1:150
• 超高速応答
• マルチガス・マルチレンジ機能 (100ガス対応／御注文時フルスケールの40-120%にリスケール可)
• 定格圧力 10 / 64 / 100 bar
• アナログI/O信号、RS232通信。オプションでバス通信用ボード搭載可
• 多様なI/Oカスタマイズ (オプション)
• ユーザー様ご自身で動作特性の調整可能
• 堅牢な金属製ハウジング (IP-40)

適用分野

• 分析・環境計測装置
• 食品・化学・石油化学分野でのガス流量監視
• 構内ガス分配システムの課金向けガス消費量監視 
• 製品のガス漏れ量検知
• 半導体製造
• 表面処理設備

etc

マルチガス・マルチレンジ機能対応ガス種の例(2019年4月時点)

• Air (空気)
• N2 (窒素/Nitrogen)
• Ar (アルゴン/Argon)
• H2 (水素/Hydrogen)
• O2 (酸素/Oxygen)
• CO (一酸化炭素/Carbon monoxide)
• CO2 (二酸化炭素/Carbon dioxide)
• He (ヘリウム/Helium)
• CH4 (メタン/Methane)
• SiH4 (シラン/Silane)
• NH3 (アンモニア/Ammonia)
• C2H2 (アセチレン/Acetylene, Ethyne)
• C2H4 (エチレン/Ethylene, Ethene)
• C2H6 (エタン/Ethane)
• Kr (クリプトン/Krypton)
• C3H6 (プロペン/Propene)
• C2F6 (六フッ化エチレン/Perfluoroethane, Hexafluoroethane, Freon-116)
• C3H8 (プロパン/Propane)
• NF3 (三フッ化窒素/Nitrogen trifluoride)
• N2O (亜酸化窒素, 一酸化二窒素/Nitrous oxide)
• H2S (塩化水素/Hydrogen chloride)
• Cl2 (塩素/Chlorine)
• SF6 (六フッ化硫黄/Sulfur hexafluoride)
• NO (一酸化窒素/Nitrogen oxide, Nitric oxide )
• Xe (キセノン/Xenon)

EL-FLOW^® Prestige - 新世代のマスフローメータ・コントローラ

序

最新のガス用サーマル式マスフローメータ・コントローラEL-FLOW^® Prestige（エルフロー・プレステージ）は、汎用性と使い勝手の点で画期的な進化を遂げました。お客様にとっての主な利点は下記の通りです。

• 流量信号処理部の進歩
• プロセス環境変化の影響を受けにくい非常に安定した流量制御領域
• 進化した制御バルブ構造
• PCボード上にてガスのコンバージョンが可能
• 消費電力を大幅に低減
• 顧客ニーズにあわせた構成や機能の追加が可能

最小レンジ 0.014...0.7 ml_n/min
最大レンジ 2...100 l_n/min

お客様のプロセス環境に適合するマスフローメータ・コントローラ

EL-FLOW Prestigeマスフローコントローラの制御性能は、オーバーシュートなしで素早く設定値変化に追従するように工場にて調整されます。さらに、コントローラは機械的な衝撃や圧力のゆらぎ(同じシステム内にあり、ガスが経由する機器により起こり得ます)に対し高い耐性をもっております。

さらにお客様のプロセス環境にあわせ、オプションで更なる高速応答(セトリング時間t98%=500 ms(最高値))や更にスムーズな制御を実現するよう設定も可能です。コントローラの動作特性は、現場にてFlowTune™またはFlowPlot™を用いて調整することも可能です。フリーソフトウェアFlowPlot™は機器の診断、アラーム(警報)設定、カウンター(積算)設定にもご利用頂けます。

環境にあわせて選択可能なI/Oオプション

D-サブ9ピンコネクタの設定により、多様な入出力(I/O)に対応可能です。標準のRS232通信と多様なアナログ信号(0...5/10 Vdc, 0/4...20 mA)に加え、オプションでRS485通信、デジタル周波数/パルス出力、警報出力/リセット、バルブ開閉、アナログのバルブ出力を選択し追加できます。さらに、内蔵通信ボードにより多様なフィールドバス対応が可能です：CANopen^®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT^® and FLOW-BUS

FLOW-BUSはRS485通信に基づくフィールドバスの1つであり、Bronkhorst^® がマスフロー計測制御のためにデザインしたものです。更に、LabVIEW™ (National Instruments社のグラフィックソフトウェア)ユーザーの利便ため、FLOW-BUS™機器向けに動作試験済みのプラグ&プレイドライバを提供可能です。デジタル"マルチバス"通信についての詳細はこちら

所有・保全コストの削減

EL-FLOW Prestigeはマルチガス・マルチレンジ (MG/MR)機能*により高い順応性を有しております。100ガス対応に拡張されたMG/MR機能はソフトウェアFlowTune™またはPLCから容易に設定可能であり、設定の度に機器をシステムから取り外す必要がありません。

EL-FLOW Prestigeのユーザーは現場で機器のレンジ変更が可能ですので、取り外して再校正を行う時間と費用を削減できます。さらに、OEM用途ではスペア用在庫の種類・点数を劇的に減らすことができ、コスト削減につながります。

* EL-FLOW Prestigeの運転温度範囲は-10...70℃ですが、MG/MR機能は0...70℃の範囲でご使用頂けます。

カスタマイズ可能な入出力信号

指示設定のためのアナログ／RS-232／フィールドバス通信I/Oに加え、EL-FLOW PrestigeはDサブ9ピンコネクタの5番ピンの構成をカスタマイズすることができます。デジタル周波数/パルス出力、アラーム出力/リセット、外部設定信号の処理、バルブパージ/閉塞、バルブ制御アナログ信号といった拡張機能をもたせることが可能です。型式に示されるいくつかのオプションに加え、要求に応じて様々な機能を盛り込むことができます。

特徴

• 高精度 (標準 0.5% Rd プラス 0.1% FS)
• レンジアビリティ (デジタルモード時) 最大1:150
• 超高速応答
• マルチガス・マルチレンジ機能 (100ガス対応／御注文時フルスケールの40-120%にリスケール可)
• 定格圧力 10 / 64 / 100 bar
• アナログI/O信号、RS232通信。オプションでバス通信用ボード搭載可
• 多様なI/Oカスタマイズ (オプション)
• ユーザー様ご自身で動作特性の調整可能
• 堅牢な金属製ハウジング (IP-40)

適用分野

• 分析・環境計測装置
• 食品・化学・石油化学分野でのガス流量監視
• 構内ガス分配システムの課金向けガス消費量監視 
• 製品のガス漏れ量検知
• 半導体製造
• 表面処理設備

etc.

マルチガス・マルチレンジ機能対応ガス種の例(2019年4月時点)

• Air (空気)
• N2 (窒素/Nitrogen)
• Ar (アルゴン/Argon)
• H2 (水素/Hydrogen)
• O2 (酸素/Oxygen)
• CO (一酸化炭素/Carbon monoxide)
• CO2 (二酸化炭素/Carbon dioxide)
• He (ヘリウム/Helium)
• CH4 (メタン/Methane)
• SiH4 (シラン/Silane)
• NH3 (アンモニア/Ammonia)
• C2H2 (アセチレン/Acetylene, Ethyne)
• C2H4 (エチレン/Ethylene, Ethene)
• C2H6 (エタン/Ethane)
• Kr (クリプトン/Krypton)
• C3H6 (プロペン/Propene)
• C2F6 (六フッ化エチレン/Perfluoroethane, Hexafluoroethane, Freon-116)
• C3H8 (プロパン/Propane)
• NF3 (三フッ化窒素/Nitrogen trifluoride)
• N2O (亜酸化窒素, 一酸化二窒素/Nitrous oxide)
• H2S (塩化水素/Hydrogen chloride)
• Cl2 (塩素/Chlorine)
• SF6 (六フッ化硫黄/Sulfur hexafluoride)
• NO (一酸化窒素/Nitrogen oxide, Nitric oxide )
• Xe (キセノン/Xenon)

チップセンサー採用IQ⁺FLOW^®
ガス用マスフローメータ/コントローラ

始めに

装置製造メーカーはシステム小型化のためにガス流量及び圧力モニターや制御ループの小型化を追及しています。以前は、例えばNeSSIシステム等仕様に明記されていますように、通常サイズ(フートプリント1.5”）のマスフロー及び圧力計が必要でした。しかし、現在はTNO-TPD（応用物理に於いては先端オランダ研究機関）との緊密な共同作業によってブロンコストハイテックはIQ+FLOWマスフローセンサーを開発するにいたりました。マイクロソリッドステート技術（MEMS)のおかげでブロンコストはなんとフートプリントが0.75”のウルトラコンパクトな流量、圧力調節計を開発、提供しています。

本質的な高品質のため、特徴は...

• 流量レンジ 0.2...10 ml_n/minから 0.1...5 l_n/min (フルスケール値)まで
• 熱的にバランスしたチップセンサーのおかげで、非常に安定したゼロベース
• コンパクト組のため高スペース効率
• 経済的ソリューション、ローコストオブオーナーシップ
• 高速応答、＜300 msec
• アナログ及びデジタル通信 (RS232 / RS485)

顧客仕様によるカスタム設計

IQ+FLOWシリーズのマイクロシステム技術をベースにして、ブロンコストハイテックはコンパクトなマニホールドへ各種機能モジュールを組合わせたカスタム設計、製作も提供しています。IQ+FLOW manifold solutions　を参照ください。

分析計等への適用

フートプリント0.75”のウルトラコンパクトモジュールを利用した分析計への適用例:

• ガスクロマトグラフのサンプルインジェクター側の流量-プレッシャー制御
• GC又はHPLCディテクター側の流量制御
• FFIDディテクターの流量制御