イノベーションサイエンス

モデルTOF-qSIMS WORKSTATIONはコンプリートTOF-クワッドSIMSシステムで、スタティック/ダイナミックSIMS分析に加え、イメージ分析処理機能を提供するモデルです。デプスプロファイリング機能も搭載しており、サブppmレベルまでの微量成分を測定することができます。

当モデルには、マルチポートUHVチャンバー、TOF-SIMSアナライザー、SIMSアナライザー、IG20ガス一次イオンガン、Csメタルイオンガン、および広範囲サンプルホルダーが搭載されており、高性能SIMS分析アプリケーション用に最適化されています。 高感度SNMSモードでは、冶金薄膜、導電性および非導電性酸化物、その他の合金材料およびコーティングの定量分析が可能です。また、酸素フラッド、電子電荷中和、真空ベークアウトなどのSIMS拡張機能が標準で含まれています。

モデルEQPシステムは、高透過イオンエネルギーアナライザーとトリプルフィルター四重極質量分析計を組み合わせたプラズマ診断ツールです。指定したイオンエネルギー質量スペクトルと、プラズマイオンのイオンエネルギー分布を分析します。中性粒子とラジカルの検出が可能です。電子付着イオン化モードでは、陰性プラズマにおけるラジカル検出機能が搭載されています。負イオンの検出ができるのも当モデルの特徴となっています。

ラインアップとして、モデルモデルEQP-6は6mmトリプルフィルター四重極質量分析計で、質量範囲300m/z 又は510m/z を測定します。モデルEQP-9は50m/zからオプションで500m/zの質量範囲を測定する9mmトリプルフィルター質量分析計です。更にモデルEQP-20は20 mmトリプルフィルター四重極を備え、ゾーンI /ゾーンHは20 m/zで切り替え可能で、ピーク幅は0.003 m/z、質量分解能は200 m/zで、水素同位体プラズマの特性を評価することができます。

HIDEN ANALYTICAL社のﾓﾃﾞﾙAuto SIMSは信頼性の高い表面分析装置で、レイヤー構造、表面汚染物、及び不純物などの特性評価向けに設計されています。酸素一次イオンビームによって陽イオンを高感度で検出し、周期表全体にわたって高い同位体感度を提供します。また、イオンソースはナノメートルデプス分解能と表面層分析を可能にしま
す。

大型サンプルホルダーと自動ステージが追加搭載し、24時間365日稼働し、何百もの分析を行う自動分析バッチを実行できます。また、フルマニュアルモードで実行することもできます。ステージ精度と広いサンプル領域は高度分析開発分野で活用して頂けます。

スタティック・ダイナミックSIMSの両方に対応しているAutoSIMSは、生産環境での利用に適しており、また、設置面積が小さいため、迅速な設置が可能です。別途オプションにてエレクトロンソース（ﾓﾃﾞﾙHiden EG500）を取り付けることで、絶縁体分析が可能です。更に、内蔵カメラにより、大型サンプルホルダー周りの分析観察を容易に行って頂けます。