プラズマアプリケーションに対するトータルサプライヤとして、豊富な製品ラインアップを
取り揃えて皆様のご来場をお待ちしております。
《プラズマ励起用各種電源》
業界トップクラスの製品群から、ニーズに応じた出力や波形をお選びいただけます。
【DC電源】500W～140kW、小出力から大出力まで豊富な出力レンジ
【DCパルス電源】750W～140kW、幅広い周波数範囲
【DCパルスコントローラー】3kW～60kW、幅広い周波数範囲、様々な出力波形、
ＨｉＰＩＭＳに対応
【高周波電源】50kHz～60MHz、125W～30kW、豊富な出力レンジと出力周波数
【自動整合器】高速・高精度、広い整合範囲、ニーズに応じたカスタマイズ設計
【周辺機器】フェイズシフター、ＤＣ/ＲＦ重畳用各種フィルター等
《大気圧プラズマ表面処理装置》
RFとArガスを使った大気圧プラズマ表面処理装置です。
プラズマ発生部の直下にワークを通過させるだけで、高速かつ効果の高い表面処理
が実現出来ます。
《各種測定器》
様々な用途でご利用いただける各種測定器をご用意しています。
【蒸着モニター】
小型ながら据置タイプと同等の高い分解能を持つ蒸着モニターです。
お手持ちのPCに接続し、高精度に積算膜厚と蒸着レートを測定出来ます。
【光ファイバー温度計】
強電磁界に強い、高精度な光ファイバー温度計です。
光ファイバーケーブルは、高い柔軟性を持っていて、取り回しの厳しい測定ポイント
にも対応します。
【エンドポイントディテクタ】
CCDセンサ搭載の高感度OES、卓越したアルゴリズム、多様なインターフェイス、
エッチングの他イオンミリングにも対応します。