ステージを長時間使用することで、ダストの噛み込みによるエラーが発生。
柔軟な表面の構成により、集塵性が向上。
ウェハエッジまでパーティクル捕捉部を形成、当社独自の製造技術により、
低コスト化を実現。
ダストの噛み込みによるエラーを防止
独自の柔軟な特殊樹脂の実装により、ステージの表面はもちろんのこと、空気穴のエッジ面に付着したダストをも捕捉し、ダストによるエラーを未然に防止。
メンテナンス時間の大幅削減
ダミーウェハとしてクリーニングウェハをラインに流すことにより、製造ラインをストップさせることなく使用可能。メンテナンス時間の大幅短縮を実現。
AC100Vで駆動
パーティクルコレクターは高電圧を使用した製品ですが、専用電源も自社にて開発を行っているため、AC100Vのコンセントで駆動するよう設計しています。タイプにより内部電源、外部電源のものがあります。
定期的なクリーニングで繰り返し使用可能
定期的に工業用アルコール(IPA)等を含ませたワイパーで拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。