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ウェーハ検査治具(プローブカード)を展示してご来場をお待ちしております。
MEMS型プローブカード(MType MC Series、MT Series)と垂直型プローブカード(VT Series)をご紹介しております。
・MEMS技術を応用した高精度なPAΦ300mm-1TD
・高精度なProbe実装と配線を実現するPI薄膜多層ST
・交代電流特性と高耐摩耗性能を提供する微細Probe
・短TAT対応型構造
・MEMSプローブを採用して垂直型プローブカード
・エリアアレイ配置レイアウトに対応
・CuPiller実装前測定にも対応が可能
・高電流容量に対応
・低針圧で安定接触
・プローブ交換に対応
・微細ピッチ/狭PAD対応
・合金針の安定接触
・フレキシブルなマルチレイアウト
・温度環境(-40~150℃)に対応