シンフォニアテクノロジー

港区, 東京都
Japan
http://www.sinfo-t.jp

前工程から後工程まで、最先端プロセスを支える搬送システムソリューションを提供

微細化を支える搬送システムソリューションとして、真空プラットフォームやN2 EFEM、ソーターをはじめ、N2パージ300mmFOUP対応ロードポート「SELOP-8」や「Tape Frame FOUP対応ロードポート」など、最先端プロセスを支える様々な搬送機器をご紹介いたします。

（台湾・韓国向け）Tape Frame対応ロードポート

アジア各国で使用されているFOUPに対応... More Info Less Info

後工程での歩留まり向上をサポート
パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応

（SEMI規格対応）Tape Frame対応ロードポート

SEMI E185に準拠したFOUP向けSEMI規格(SEMI E184)対応ロードポート... More Info Less Info

後工程での歩留まり向上をサポート
パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応

（SEMI E63対応）Tape Frame対応ロードポート

取付ピッチ：300mm（SEMI E63）に対応したロードポート... More Info Less Info

後工程での歩留まり向上をサポート
パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応

300mmソーター

高効率で安定したウェーハ移載をサポート... More Info Less Info

・高信頼性、出荷実績No.1のロードポートSELOPシリーズを搭載
・高スループット
・SEMIスタンダードソフトウェア（GEM300対応）
・パーティクルレス
・省フットプリント
・豊富なバリエーション（2x2、3x3、4x4ポート）

300mmFOUP対応ロードポート SELOP-8

独自機構の採用でよりスムーズなFOUPドア開閉を実現 ... More Info Less Info

エアー／電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。最新の高気密性FOUPにも対応。

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