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レーザーテックは、光を用いた独自の最先端技術で検査・計測ソリューションを開発、提供しています。
本年は新たな製品の発表を予定しており、当社ブースでは新製品の紹介をはじめEUVリソグラフィ全般の幅広い製品ラインナップおよび主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。
また、ハイブリッドレーザー顕微鏡の実機でもデモを行い、R&D（標準機）から量産試作（特殊ステージ仕様）、量産ライン（プロセス機）まで、測定ニーズに合わせた顕微鏡のカスタムをご提案いたします。
あらゆる検査・計測に関するご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りいただけますと幸いです。
・EUVマスク製造工程における検査
・ウェハファブにおけるEUVマスクの検査が可能
・ウェハファブにおけるペリクル非装着EUVマスクの品質確認検査
・EUVマスクの製造工程における、微小異物検査
・リソグラフィ工程におけるレジスト膜厚やCDのばらつき監視と異常検知
・成膜工程における各種膜厚管理とプロセス装置QC
・エッチング工程における深さばらつきの監視と異常検知