ダルトン

メンテナンス性に優れた背面上部搬送機タイプ。各種超音波のテストとご提案が可能です。
引火性薬液への安全対策もお任せください。

＜オプション＞
①高速揺動
装置内部の槽の中に設置されたカセットが上下して、レジスト剥離が行われます。
今回のオプションで、上下速度が従来より速くなりました。（120回/分）
速度を上げることで剥離カスや剥離液の滞留を防ぎ、レジスト剥離を促進することができます。

②Flush Drain System（フラッシュドレインシステム）
槽内に浮遊、付着しているスラッジ（金属膜）を効率良く排出するシステムです。
①槽内に設置したスクリューフローノズルから液を噴射させ液の渦を発生させます
②槽内壁に張り付いた剥離カスや槽内に浮遊している剥離カスを槽中心に集めます
③カスを槽の中心に集めた状態で槽底面排出口より液を排出します
④液量が少なくなった状態で槽下部に設置された超音波を照射させ、剥離カスを中心から外（槽底面排出口）に誘導します
⑤これを何度か繰り返すことで槽内のカスを回収していきます

スピンコーターに必要なユーティリティ取り合いをドラフト背面側へコンパクトにまとめることで、作業場の安全性と作業性の向上を実現します。
装置は室内の壁にべた付けして設置することが可能です。

研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターの使用によりHFEを均一に沸騰させ、槽内の均一なベーパー発生を可能にしました。従来型のIPA乾燥にも対応可能です。