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最先端の半導体製造の品質管理に貢献する精密計測器を、日本カノマックス株式会社がカノマックスアナリティカル株式会社と共同出展致します。
カノマックスグループは、”独創と革新”を企業理念として、6つの事業で、究極の精密計測ソリューションをグローバルに展開しています。
皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。
主な特徴
●特許取得済みの独自ネブライザー ●光散乱式の検出限界以下の粒径を測定可能 ●測定粒径は3, 9, 15nm のチャネル設定可能 ●粒子になりえる不揮発性物質や液中の粒子を測定可能 ●超純水および希釈溶剤(IPA, H2O2, アンモニア, HCl)に対応 ●SEMI ガイドラインに推奨されている認定測定器 ●最小限のメンテナンスで使用可能
アプリケーション ●超純水の粒子汚染を常時モニタリング
●高分解能の粒径分布測定 (64 チャンネル/1 桁当たり) ●広い測定範囲(6~562nm) ●サンプル粒子を個々に分級し計数 ●最小限のサンプル調整で、高速測定(6 分以内)
アプリケーション ● 化学機械研磨スラリー ● SEMI 規格C79-0113 に準拠したフィルター試験 ● 環境ナノ粒子汚染
主な仕様
分解能 ≧30,000(FWHM) 質量範囲 m/z 1~1,000 イオン化方式 電子イオン化(EI) 取込速度 20~60,000msec 寸法、重量 W270×H460×D550mm(突起部は含まない)、39kg
アプリケーション ●半導体プロセスガスのリアルタイムモニタリング ●窒化物半導体の反応解析 ●同位体分析
●最大144chまでの同時測定が可能 風速・風温・湿度を最大144ch同時測定が可能。
●互換性プローブは15種類 15種類の多彩なプローブを用意しています。 お客様のご要望によってお好きな組み合わせが可能です。 風温・湿度の同時計測もチャンネル数を減らす必要がありません。
●大型ディスプレイ搭載 本体ユニットには7incの大型ディスプレイが搭載されています。 これによりPC不要で設定、データ保存が可能です
●0.1μm、0.3μmの同時計測ならびに計測結果の表示が可能です。 ●大きくて使いやすいタッチパネル式4.3インチカラーディスプレイ。 ●RS-485、Ethernet、USBを標準装備。 ●日本語、英語に対応。 ●ISO21501-4およびJIS B 9921に準拠。