清和光学製作所

• 小間番号5108

(株)清和光学製作所は、半導体及びMEMS製造における各工程に対して、光学系のプロとして多彩なソリューションを提供する事ができます。例えば前工程のリソグラフィー関連の露光装置や、ボンディング後の表裏（Inner）アライメント検査、または近赤外を使用した接合界面の非破壊検査,全自動光学検査シリーズとして、欠陥Review、線幅測定、高さ測定（白色干渉、レーザー共焦点、AFM）、膜厚測定（エリプソメーター）やレーザーによる不良品リペアなど多種多様です。さらにテスト用の手動機から、インラインのフルオート機と工場側システムとの通信なども対応可能です。FOUPケースの寸法測定装置も製作しております。

投影露光装置開発中です、お声をおかけください。

最近は、レーザー加工装置（樹脂溶着、セラミック切断、ガラス切断、穴あけ、メタル穴あけ）に力を入れております。医療系、PFA製品に実績を持っています。宜しくお願い致します。

新発売のUVレーザーマーカーは、素材にやさしく、高発色性に優れています。

今現在お困りの事案や、今後に対する不安やご要望などについて、是非弊社にご相談下さい。７０年の歴史で培った技術と経験で、お客様をバックアップさせて頂きます。

 プレスリリース

• 低価格！！！　UVレーザーマーカー (20221128)

  樹脂、多層フィルム、ウエハー等、素材にやさしく、ダメージレス高発色レーザーマーカーです。

• ３D外観検査装置 (20221128)

  【概要】

  白色干渉(Coherence Scanning Interferometry)、レーザー共焦点、AFM光学エンジンを搭載し、

  Wafer上のパターンや欠陥等の高さを測定する装置です。

  また、SRV光学エンジンも搭載しており、線幅(2D)×高さ(3D)の

  ハイブリッド測定が可能です。

• FOSB検査装置 (20221128)

  【概要】

  FOUP/FOSB/OCの外径寸法測定を行う装置です（ウェハ挿入済み可）。

  様々な角度から、トップフランジ、サイドフォークリフトフランジ、

  ウェハ搭載の段ピッチやレジストレーションピンホールを測定・検査します。

 出展製品