プレシテック・ジャパン

「Flying Spot Scanner(FSS)」は、光学式エリアスキャナーです。XY2軸のガルバノミラーにより広範囲のエリアスキャンができる光学式測定器です。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響も受けません。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。
【特長】
■広範囲のエリアスキャン（~φ310mm）
■高分解能
　最小ビームスポット径13um, 分光干渉方式による高Z分解能
■XYステージ不要でステージ振動無し
　ガルバノミラーによるエリアスキャン
■開発コスト低減、開発納期短縮
　装置組込み用のソフト開発キット（DLL等)あり
■用途
　FPD,LCD用ガラス基板の厚み測定

　ウエハのワープ（歪み）測定

　レンズ形状検査

　PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定　　等

『CHRocodile 2ITシリーズ』 は、非接触の厚み、膜厚測定用のセンサです。多種多様な材料に対応可、また、広い測定レンジを有しておるため、加工中と加工前後を1台で測定することが可能です。非接触でSi, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN),LiTaO3(LT),GaN, SiP、Al2O3(サファイア）等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の厚み測定が可能です。干渉膜厚最大16層まで対応可能。サブミクロンの高分解能（最小1nm）があります。

■【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
　豊富なプローブラインナップで、薄膜（数um)～厚膜(1260um)までカバー。
■In-situでモニタリング可能
　70,000Hzの高速サンプリング
■カスタム可能なプローブヘッド
　防水ハウジング、換気機能付き水パージ、頑丈なデザイン、測定方式など実績あり
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
■多業界で豊富な実績
　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野

『CHRocodile 2S/2SEシリーズ』は、共焦点色収差を使用した厚み測定、距離測定用のセンサです。サブミクロン分解能でウエハ厚や表面形状のインプロセス測定も可能な非接触センサーです。複数のプローブラインナップにより、薄膜（数um)～厚膜(180um)と幅広い厚み測定に対応しています。距離測定では最大25mmの範囲の測定が可能で、平坦度、TTV、ステップハイト、表面粗さに使用できます。80万円の廉価版シリーズ(CHRocodile C/Mini)もあります。

■特長
・幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(180um)までカバー。
　幅広い材質に対応可能。
・高分解能（サブミクロン 最小2nm）
・開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
・多業界で豊富な実績
　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野