丸文

中央区, 東京都
Japan
http://www.marubun.co.jp

小間番号5212

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出展製品

＜＜出展見どころ（東ホール５　No.5212）＞＞

当社、丸文のブースではドライエッチングやプラズマCVDといった装置に使用する高周波関連の測定機材（BIRD社他）や、AIを活用した異常検知・予知保全システムを提案致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波（RF）電源の電力測定装置を出展致します。ロジック・ファウンドリ向けのドライエッチング装置では細かなRFパワーコントロールが求められます。BIRDでは現状の1%精度からさらなるパワーセンサの精度向上（0.5％）を実現するセンサを開発しております。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視（電流、電圧、位相角）を可能にした製品を出展致します。

【AIを活用した異常検知・予知保全システム】

CrossCompass社の提供する『MANUFACIA』は、製造業に特化した直観GUIのかんたんAI開発ツールになります。製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。

【多機能測定ソリューション】

オシロスコープやファンクションジェネレータといった機能をまとめた多機能測定器Mokuシリーズをご紹介いたします。ご用途や必要スペックに応じて柔軟なご提案が可能。またIpadを使用した革新的なUIも必見です。

出展製品

超高精度（0.5%）パワーセンサ7037

±0.5%の超高精度パワーセンサ7037は、BIRD社が独自のカロリーメータ技術の発展により開発した、従来のRFパワー測定を一新する新世代パワーセンサです。純粋なパワーの測定から、パルス波形のリアルタイムモニタまで、様々な用途に対応致します。... More Info Less Info

製品仕様

7023・25 ：シングルパルス校正周波数において精度1%@1700W（other 2%）
7027・29 ：マルチパルス（最大4段階）精度1%@校正周波数における全パワーレンジ
7037・39 ：マルチパルス（最大4段階）精度0.5%@校正周波数における全パワーレンジ
※その他領域 : 1.5%
※ご希望の周波数帯、パワーレンジ等詳細につきましてはお気軽にお問い合わせください。

非50Ωライン測定システム　BDS2

BIRD社の提供する非50Ωライン測定ソリューション、BDS2はチャンバ内の実効電力モニタに最適です。RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。... More Info Less Info

非50Ωライン測定システムBDS2の特長

非50Ωラインにおける電流、電圧、位相角モニタ。RF実効電力及びスミスチャートによるインピーダンス解析
周波数スイープ機能を用いたスぺクトラム解析。高調波・ノイズ成分の解析
内蔵のトリガ機能により、アークやパルスの立ち上がりを見逃さずキャプチャ可能。プロセス解析・良否判定に最適
オプションのタイムドメイン機能を使用、最大4レベルのパルス波形をモニタ

製造業に特化した直感GUIかんたんAI開発ツール『MANUFACIA』

製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。... More Info Less Info

詳細情報：

【製造現場の課題】
◆ 高度な技術の継承。
◆ 工場に埋もれるビッグデータの解析。
◆ 高度な異常検知。
◆ 属人的な官能検査のデジタル化。

【AIの製造業への導入の課題】
◆ AI、数学の専門的知識が必要。
◆ プログラマの確保が必要。
◆ 試行錯誤を伴って、良否の判断がつくまで、長期活動となる。
◆ AIは道具、改善成果を早く得たいのに、オーバヘッドが大きい。

【MANUFACIAによるソリューション】
◆ 製造業に特化した直感GUIのかんたんAI開発ツール
◆ AIの特別な知識や、プログラミング不要
◆ 低価格でAI導入のスモールスタートを実現
◆ AIモデル開発までは、ノーコード
◆ 未学習のAIモデルの開発プロセス不要
◆ 実証済みの多数の未学習AIモデルを実装し、評価結果から、合理的にユーザーが選択

渦電流式変位計 "ギャップセンサ"による変位/位置決め制御

㈱電子応用ギャップセンサは非接触で物体の変位/振動/回転/位置を計測します。ギャップセンサは耐環境に優れ、真空対応等の仕様もございます。また、お客様の取付環境に合わせたセンサ形状に1本から設計、特注製作することも可能です。電子応用ギャップセンサは実験用途に限らず、搭載による位置決め制御、量産センサ等様々な用途で実績がございます。... More Info Less Info

・測定原理：渦電流方式

・測定対象：導電体

・油、水、汚れ等が測定対象物との間にあっても非接触で測定可能

・耐環境性に優れたセンサ

・高速追従性(～30kHz)・耐水耐油、・耐温度(-20～120℃)・特殊環境(腐食性ガス、真空)・高分解能

・取付環境に合わせた形状も製作可能

・R＆D、設備保全監視、製造装置搭載による位置決め制御等、実績多数

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