ブルカージャパン

中央区新川,  東京都 
Japan
http://www.bruker-jp.com
  • 小間番号4402


ブルカージャパン ナノ表面計測事業部ブースでは皆様の課題解決に直結する各種計測ソリューションをご提案致します。

サブナノスケールの計測技術の世界標準

製品ラインナップ一覧

半導体向け全自動原子間力顕微鏡 
半導体/産業用X線計測装置
半導体フォトマスクリペア装置
半導体向けナノインデンター(微小押し込み・硬さ計)
半導体向け全自動白色干渉計
卓上CMPプロセス評価装置
ナノスケール赤外分光分析装置(半導体向け欠陥分析)


 出展製品

  • 300mmウェハ対応 全自動3D AFM(原子間力顕微鏡)
    300 mm ウェハ対応大が全自動プロファイリングシステム Atomic Force Profiler with Peak Force Tapping...

    • 300 mm ウェハ対応
    • ブルカー社特許のピークフォース・タッピングモードを大型機で採用
    • 次世代のステージとチャックを使用し、高分解能、高平坦度、高速なプロファイリングを実現
    • PeakForce Tapping®により機械特性のみならずALDやALEフィルムの表面粗さ計測にも対応
    • スループットが1/2~1/10に改善(従来比)
    • 全方向のリニアモーターステージ採用により、ベベル測定も可能

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