従来の歪検査器では測定が難しかった、可視光を透過しない低位相差サンプルに対応した全自動歪検査器です。
半導体ウェハ―業界のお客様から頂いた貴重なご意見を取り入れ、0～150nmまでのリタデーションに対応できるよう改良しました。
製品の歪（ひずみ）・内部応力を点ではなく面で、またワンクリックで定量測定できます。
自社内開発のソフトウェアには豊富な解析ツールが組み込まれており、2次元分布図上の断面のグラフ、任意に設定した領域のヒストグラム表示、2次元分布図の立体表示、測定結果の保存といった機能をお使いいただけます。十分な測定データを残すことが可能なため、評価結果の解析にも有用です。