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横河ソリューションサービス
武蔵野市中町,
東京都
Japan
小間番号3827
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200 装置、組み立て
モールド/封止装置
裏面研削/スライシング/ラッピング/ポリッシング装置
203 装置、検査及び測定
ライン幅:クリテカル寸法(CD)測定
分光計:フーリエ変換赤外分光(FTIR)/減衰全反射FTIR(ATR-FTIR)/オージェ電子(AES)/SIMS
欠陥/パーテクル/バンプ/汚染検出、評価、検査
膜厚:厚さ/均一性測定/エリプソメーター
204 装置、MEMS
ウェーハレベルボンダー
ダブルサイド露光機
深堀RIEエッチング/ドライエッチング
205 装置、ナノテクノロジー
装置/ナノテクノロジー機器
207 装置、プロセス
イオン注入装置
エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
エピタキシ装置:エピリアクター/分子ビームエピタキシ(MBE)/原子層エピタキシ(ALE)
クリーニング/洗浄/基板乾燥装置/ファブプロセス
コート/現像/レジストプロセス/搬送装置
スピンオングラス(SOG)/スピンオン誘電体(SOD)トラック装置
バンプシステム
メッキ;電解メッキ/製膜積層装置
リソグラフィ;露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
化学機械研磨(CMP)/電気研磨/機械研磨装置
熱プロセス-拡散/酸化/アニール/RTA/RTP装置
環境の取り込み/ミニエンバイロメント
積層化:化学的気相成長(CVD)/MOCVD/ PECVD/ LPCVD/ ALD/ REALD/ MVD
積層化:物理的位相成長 (PVD)/ スパッタ/蒸着装置
結晶成長および加工装置
700 製造サービス
マイクロマシンサービス(微小径穴あけ)
リソグラフ;パターン形成サービス
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