伊藤忠マシンテクノスブースにおいては、前工程から後工程までの製造装置、各種検査装置の実機およびパネル展示を致します。
【製造装置】
１）ポリイミド膜用のコーターシステム（エンジニアリング・ラボ社製） （実機展示）
・スピンコーターの変わる新たな塗布技術、大幅なコスト削減に貢献します。
・微細パターンの塗布機能も有しています。
２）レジスト液充填装置・洗浄装置 （永田製作所社製） （パネル展示）
・レジルト容器洗浄装置、液体充填機、キャッパー・ラベラーを１００年超えるノウハウでお客様にご提供します。
３)レーザー製造装置 （E&R社製) (パネル展示)
・レーザーマーカーやプラズマクリーナーなど多様な装置を展開
【検査装置】
１）ウェハ膜厚・表面粗さ・ウェハ厚み・ウェハ反り・歪み計測装置 （ドイツ Sentronics社製） （パネル展示）
・装置１台に８種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置です。
・高タクトを実現します。（膜厚１,０００点：１００WPHを実現）
・抜き取りから全数検査まで幅広い用途に適した装置です。
２）ウェハ欠陥検査装置 （アテル社製） （パネル展示）
・ウェハ薄型工程に適した、ウェハ裏面専用の自動欠陥検査装置（AOI装置）
・薄型ウェハ、反ウェハの適したマニュアル用のマクロミクロ外観検査装置
・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能を有しています。
・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能です。
３）マクロ欠陥検出センサー （オプティテック社製） （実機展示）
・目視検査では検出出来ないナノレベルの表面欠陥、目視検査の可視化が可能なセンサーです。
・搬送ローダーとのドッキングが可能になります。
是非、伊藤忠マシンテクノス株式会社 ブース （小間番号３420）にお立ち寄り頂きますようよろしくお願い申し上げます。