半導体製造装置，チヤンバー内のプラズマ分析なら，当社へご相談ください． イオンエネルギーアナライザー付質量分析計で分析可能
HIDEN ANALYTICAL社の大気圧サンプリング、ガス分析装置 モデルQGA、モデルHPR20、大気圧プラズマ分析装置 モデルHPR60、二次イオン質量分析計 モデルSIMS Workstation、モデルAutoSIMS、モデルCompactSIMS、プラズマイオンエネルギーアナライザ付質量分析計 モデルEQPシリーズ、SIMS式エンドポイントモニター モデルIMP-EPD、UHV自動昇温脱離ガス分析装置 モデルTPD Workstation、ラングミュアプローブ モデルESPION、液中溶存ガス分析計 モデルHPR40 DEMSなどを取り扱っております。
ハイデンアナリティカル社の製品だけでなく、国内仕入部材の販売も行っております。
大気圧プラズマ分析装置、モデルHPR-60
https://www.hidenanalytical.com/products/gas-analysis/hpr-60-mbms/
プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計 モデルEQPシリーズ
https://www.hidenanalytical.com/products/thin-films-plasma-and-surface-engineering/eqp-series/
二次イオン質量分析計 モデルSIMS Workstation
https://www.hidenanalytical.com/products/surface-analysis/sims-workstation/