インフィコン

川崎市高津区, 神奈川県
Japan
http://www.inficon.jp/

小間番号5009

インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。

新製品）リークディテクター（UL6000）：デモ実演!! 高速測定で時間を節約するインテリジェント機能（I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO）搭載モデル。
新製品）質量ガス分析計：新製品。最小検出感度10ppb。EUVプロセス対応。微小ハイドロカーボンの検知可。CVD等流体が付着しやすい環境下での使用でも検出可能モデル。
半導体用膜厚計（SEMI-QCM）：過去より定評のあるINFICONの膜厚計を半導体向けチャンバーや配管の状態監視に応用した新製品。

Categories

400 部品、パーツと付属品

パイプ、チューブ、ホース、フランジ、コネクタ、連結器、管継手

真空システム構成要素及び付属品（光学モニター；スパッターターゲット支持台；潤滑油；ポンプオイル；他）

401 サブシステム

コンピュータ；管理/通信/データ取得システム

プラズマ源；管理/モニタリング/解析

プロセスモニタシステム

ポンプ、真空用

500 工場のモニタリングと制御システム(FMCS)

プロセス管理

602 製造ソフトウェア

歩留り管理；プロセス管理ソフトウェア