インプレックス

Hachioji-shi,  Tokyo 
Japan
http://www.imprex.com
  • 小間番号3505


半導体製造コスト削減の確実な達成は、世界に最強のネッワーキングを持っている経験豊富な弊社にお任せする事が近道です。

現在半導体プロセス工程で多用されているドライ・スクリューポンプ(樫山、荏原、エドワーズ)の完璧な修理

プロセス工程で使用するバラトロン、各種MFC(旧式+新型)やMFMの修理

実際のプロセス中のウエハーの温度を計測する安価な温度検出ウエハー(8,12”用)

各フォトリソ工程の干渉計レーザーの修理及び安価なレチクルケースの販売

CANON、NIKONのフォトリソ装置のメイン基板(難解修理)及びその他各種基板の修理

CVD工程のサセプター及びP, Cチャック再生、ヒーターの再生、CチャックAS-IS品販売

CVD工程で使用するALNヒーターの販売

PVD工程で使用する A101及びB101ヒーターの再生、 MCAチャック(0010-24456)の再生及び販売

製造中止のエドワーズターボポンプ STP-A2203CのOH済品の販売

NVLS社 ESC  02-134263-00 純正再生済品の販売

NVLS社CVD装置用ロボット Mag7 #003-1600-25 新品の販売

各種オゾンジネレーター&インバーター修理

各装置メーカー純正スリットバルブ、Oリング、センターリングの販売

各プロセス装置メーカーのチャンバーパーツ販売及び再生-15万点

装置のHDD (SCSI, IDE, SATA)のリニューアル化-ミラーリングHDD販売

組立工程の K&S社 YB装置用各種パーツの安定供給及び各種機器の修理

安価で高精度のキャピラリー、ダイコレットの販売

AC/DC型サーボアンプ & サーボモーターの修理再生

クリーンルーム用品:クリーンノート他の販売


 出展製品

  • エドワーズターボポンプ
    STP-A2203CのOH済品...

  • T.E.L.ドライ装置で使用するエドワーズ社のターボポンプです。

    フルOH済の中古良品です。メーカー製造中止なので希少価値品です。

    弊社内で在庫しております。お問い合わせ願います。4台保有中。

  • NVLS社 ESC
    02-134263-00 再生済品...

  • ノベラス-スピード装置用の純正ESCのリファーブ品です。新品の物は入手が高額で、納期が長く大変厳しい状況です。現在の所は弊社内で4個在庫が有ります。流れが速いので早めにお問い合わせをお待ちしております。
  • NVLS社CVD装置用ロボット Mag7
    #003-1600-25 新品...

  • ノベラス-CVD装置用BROOKS社製MAG-7の新品ロボットです。一度も使用していない新品のロボットであります。入手も大変に困難になってきている昨今、弊社内で2台保有をしております。お探しの方は、直ぐに弊社にお問い合わせをお待ちしております。
  • ASSEMBLY, 300MM FDR SLT EST ASSY, N1-PL
    0010-24456 新品...

  • AMAT社PVD装置用MCAチャックの純正再生品です。

    LEVEL3(ベローズ新品交換、ステージ表面の再生、内部の配線他の交換)の内容で、ほぼ新品状態です。

    お探しの方は、直ぐに弊社にお問い合わせをお待ちしております。