バタフライコントロールバルブ61.3は抜群の圧力制御性能を発揮します。0.1秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDやALDプロセス下での正確な制御に最適なソリューションです。プレートの回転動作により、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。61.3に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力に可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を計算します。
この製品は、ガス流にパーティクルが含まれる過酷な下流プロセスでも使用可能となるよう設計されています。61.3は構造上、高いパーティクル負荷やデブリの蓄積があっても完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある61.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、61.3はあらゆる面で納得のいく製品です。
本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションが用意されており、様々な真空用途へ簡単に組み込むことができます。