NTKセラテック

仙台市,  宮城県 
Japan
https://www.ceratech.co.jp/
  • 小間番号2542

材料開発に始まる素材製作から仕上加工~販売まで一貫して行うセラミックスメーカーとして、
長年培った技術力と高度なものづくりで、お客様と社会に新たな価値を提供します。

【ウェハチャック】半導体製造に欠かせない、様々な仕様のウェハチャックを展示します。
【構造用セラミック】セラミックスの特性を生かした様々な製品を展示します。

【技術】世界最高峰に類する平面加工や積層技術を用いた高い面内温度均一性など
世界をリードする技術力を紹介させていただきます。


 プレスリリース

  • 当社は、材料開発に始まる素材製作から仕上加工、販売まで一貫して行うセラミックメーカーです。「創造と挑戦を楽しむ」をスローガンに独創的かつ先進的な技術開発を行い、安定した品質の製品をお客様に提供しています。お客さまのニーズに応えた開発力にも自信を持っています。常に近未来を見据えて次世代の研究開発を行い、お客様と二人三脚の姿勢で、新しい価値を創造しています。

    【事業内容】

    半導体・液晶製造、電子機器、産業機械をはじめとする様々な最先端分野においてセラミックスの無害性、化学的安定性、耐熱性等の特性を進化させ、材料開発から加工まで高い技術と品質でお客様のご要望にお応えし新たな価値を追求しています。

    【ウェハチャック】 静電チャック:セラミックス内部に金属電極を配置し、一体焼結させることで静電チャックやセラミックスヒーターを製作することが可能です。 ポーラスチャック:多孔質セラミックスとセラミックスを組み合わせた隙間のない高精度なチャックの製作が可能です。また、 有気孔を生かし様々な用途での使用が期待されています。

    【蛍光体プレート】 セラミックスの特性を生かしハイパワーLED、レーザーでの使用ができ使用用途に合わせ2種類の蛍光体製造方法から選択が可能です。

    ➡フォスセラ:セラミックスの薄膜形成技術により製造され ニーズに合わせた光色設計が可能です。

    ➡フォスミック:ファインセラミックスの材料技術と焼成技術のベストミックスの実現で、新たに誕生したオールセラミックスタイプの蛍光体でより過酷な環境での使用を想定した製品です。

    【構造セラミックス】

    ➡当社の主力製品で半導体や液晶製造装置などに使われる精密部品を中心に各種材質からお客様の仕様に沿った製造ができます。機械特性と熱・電気特性から用途に合った材質をお選び頂き小ロットからでも製作可能です。


 出展製品

  • 真空チャック(ポーラスチャック、ピンチャック)
    主に半導体製造装置の部品としてシリコンウエハーの吸着固定に使用されています。 ポーラスチャック:セラミック基材と多孔体セラミックを一体同時焼成を実現。 ピンチャック:12inchサイズで平面度0.2umの高い平面度、平面形状の凹凸など形状の調整が可能。...

  • ポーラスチャック
    ➡主に半導体製造装置の部品としてシリコンウエハーの吸着固定に使用されていますが、
    ポーラスチャックの特徴である「多孔体セラミック」を生かして、
    検査装置、測定装置、フィルターなど様々な分野で応用されています。

    ピンチャック
    ➡世界最高峰に類する平面加工技術を用い、カスタマイズされたデザインの創製により、お客様の厳しい要求に合わせた最適なピンチャックを提供します。
    究極の平面度を追求し、12inchサイズでは、平面度0.2μmを実現しています。ウェハの形状に応じ、ピンチャックの平面形状を凹凸自在に調整したり、吸着の応答性を高めるために吸着ゾーンやピンパターンをカスタマイズすることもできます。

  • 静電チャック/セラミックスヒーター
    主に半導体製造装置内で使われる静電チャック。セラミックス内部に金属電極を配置し、一体焼結させることで、静電チャックやセラミックスヒーターを製作することが可能です。...

  • セラミックス内部に金属電極を配置し、一体焼結させることで、静電チャックやセラミックスヒーターを製作することが可能です。さらに冷却用の金属製基台との接合品も製作可能です。
    各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャック/セラミックスヒーターをラインナップしています。プラズマ環境領域、電子線使用領域等、用途に応じた製品を開発・試作段階から提供します。
  • 構造用セラミックス
    構造用セラミックスとしての応用製品は、自動車部品、精密機器部品、化学機械部品、工具、スポーツ用品、家庭用品など様々な分野に広がっています。セラミックスは一般的に、硬い、軽い、変形しにくい、耐熱性が有る、腐食しにくい、熱膨張が小さい、摩耗しにくい、電気を通さないといった特性が有ります。...

  • 構造用セラミックは古くから耐火物や陶磁器、タイル、レンガに使われてきました。
    これはセラミックが固くて耐熱性が有り、耐食性に優れた特性を持っているためです。
    現在、構造用セラミックスとしての応用製品は、自動車部品、精密機器部品、化学機械部品、工具、スポーツ用品、家庭用品など様々な分野に広がっています。セラミックスは一般的に、硬い、軽い、変形しにくい、耐熱性が有る、腐食しにくい、熱膨張が小さい、摩耗しにくい、電気を通さないといった特性が有ります。
    これらの特性を生かして、お客様のニーズに合った製品をオーダーメイドにて製造・販売しております。
  • 蛍光体プレート(フォスセラ,フォスミック)
    セラミックスの薄膜形成技術を応用したフォスセラ、材料技術と焼成技術によりより過酷な環境に使用できるフォスミック。ハイパワーLED、レーザー、ハイパワーレーザー等、使用用途に合わせてお使いいただけます。...

  • ➡フォスセラ:セラミックスの薄膜形成技術を応用したユニークな製品です。
    樹脂を使わないため、ハイパワーLED、レーザーでの使用が可能です。
    また、耐光性も高く、励起光として紫外線もお使いいただけます。
    ➡フォスミック:過酷な環境で使用されるファインセラミックスの材料技術と焼成技術のベストミックスの実現で、新たに誕生したオールセラミックスタイプの蛍光体プレートです。
    優れた熱特性と発光特性で、特にハイパワーレーザーの実装基板用途にも最適です。