弊社では、各種洗浄装置と精密カセット検査装置、インプラント装置を取り扱っております。いづれも機能の実証された装置群です。
小フットプリント装置開発、ロングライフ改造企画、コスト低減提案に集中投資しております。
ウェット製品ご紹介
(1)自動有機溶剤剥離装置(SST) (2) オゾン剥離装置(SOT ) (3)酸処理洗浄装置 (4) スピンドライヤー (5)ストームカセットBox洗浄装置 (6)アップグレード
精密カセット検査装置のご紹介
EAGLEi 200mm 及び EAGLEi 300mm
Varian 製品群ご紹介
(1)EHP220/500 Mid -current (2)VIISion 80/200 High current + IHC (3)Kestrel 750 High energy (4)アップグレード
CVD,Etch製品ご紹介
(1) P5000CS CVD & Etch ＋RPS (2)アップグレード
OEMグループ ジャパン合同会社はShellbackセミコンダクターテクノロジー社のグループ会社です。
ご来場お待ちしております。