ワイヤレスでウエハライク形状、レチクル形状の測定器を展示いたします。新しいセンサーも紹介しますので是非お越しください。
装置メンテに使う便利ツールを開発しています。
ワイヤレスでウエーハライク形状のレベル測定、振動測定、画像処理による位置測定、静電容量によるギャップ測定、気中パーティクル測定、振動＆レベル＆温湿度測定を合体させたマルチセンサー、そして今年の新製品は、より薄く軽量になった厚み3.5mmのカメラセンサーです。またレチクル形状のカメラセンサーATSRも紹介いたします。