大塚電子

枚方市招提田近,  大阪府 
Japan
http://www.otsukael.jp
  • 小間番号3035

”インラインで測定する“ 半導体製造工程の中で、膜厚・粒子径測定技術で提供できる価値を、実際の測定がイメージできる装置を通して、ご覧いただけます。
ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
 


 出展製品

  • 顕微分光膜厚計 OPTMseries
    OPTM(オプティム)は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。...

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  • ゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo
    ELSZseriesの最上位機種で希薄溶液~濃厚溶液でのゼータ電位・粒子径測定に加え、分子量測定を可能にした装置です。 新しい機能として粒度分布の分離能を向上させるため多角度測定を採用いたしました。また粒子濃度測定やマイクロレオロジー測定、ゲルの網目構造解析も可能にしました。...

  • 新しくなったゼータ電位平板セルユニットは、新開発した高塩濃度対応コーティングにより、生理食塩水などの高塩濃度環境下での測定が可能になりました。3μLで粒子径測定が可能な超微量セルユニットもラインナップし、ライフサイエンス分野への可能性を広げました。