オックスフォード・インストゥルメンツ

Ultim Max EDS検出器は、ハイエンドの技術を用いて、精度や品質に妥協することなく、比類のない速度と感度を実現しています。このシリーズの検出器は、最大のセンサーサイズ（最大170mm2）とExtremeエレクトロニクスを組み合わせて、優れた性能を実現しています。

低エネルギーX線（CKaおよびFKa）および高エネルギーX線（MnKa）での性能を、すべてのセンサーサイズで同じ130,000cpsという生産性の高いカウントレートで保証しているのはUltim Maxのみです。性能は、出荷前にSEMでテストされ、設置時にもテストされます。最も厳しい分析条件（高カウントレート、低加速電圧、in-situ試験）でも、すべてのUltim Maxが優れた結果を実現することを保証します。

すべてのUltim Max検出器は、電動スライド機構を内蔵し、必要なときに簡単かつ迅速に挿入でき、使用しないときには格納することができます。

Symmetry S3は、カスタマイズされたCMOSセンサーと光ファイバーを使用して、スピード、感度、精細な回折パターンのユニークでパワフルな組み合わせを実現しています。 Symmetry S3は、AZtecソフトウェアとの組み合わせにより、あらゆる材料、あらゆる測定において優れた性能を発揮します。 最速5700ppsを超えるSymmetry S3の分析速度は、テクスチャと粒度の特性評価を数秒で可能にしますが、高いビーム電流を必要としたり、パターン分解能を犠牲にすることなく達成されます。 これは多相軽金属合金や変形鋼のような困難な試料でも、このような高速化が可能であることを意味します。

さらにSymmetry S3は、歪みのないメガピクセル解像度のEBSPを収集して、詳細なひずみ・結晶相解析を行うことができます。ソフトウェア制御の検出器チルト（ダイナミックキャリブレーション機能あり）や独自の近接センサーなどの革新的な機能により、あらゆるアプリケーションに適した検出器です。

Symmetry S3は、優れた性能と使いやすさを兼ね備えており、すべてのEBSDアプリケーションに理想的な検出器です。特長は以下の通りです。

• 156 x 128ピクセルのEBSDパターン分解能で5700pps以上の指数付け速度を保証
• 最大1244 x 1024のパターンピクセル解像度 – 高角度分解能 (HR) EBSDに最適
• サブピクセルレベルのパターン歪みを持つ特徴的な光ファイバー接続
• 優れた感度、あらゆるタイプの分析に有利
• ソフトウェア制御による検出器チルト機構

主な特長：

• 従来のステージ型AFMを凌駕する最新設計とテクノロジー
• blue Driveタッピングと堅牢設計による安定した再現性の高い測定
• 超高分解能・高速スキャン・広域スキャンを単一のスキャナで達成（スキャナの交換不要）
• 原子・分子レベルの空間分解能
• 最速 数十Hzの高速スキャン
• 広いスキャンレンジ（100µｍ）
• こだわりの光学顕微鏡設計と、操作性に優れたNewソフトウェア『Ergo』

最大限の自動化
2015年の初登場以来、alpha300 apyron は、WITecの完全自動化されたハイエンドラマン顕微鏡として確立しています。WITecの apyronシステムは、特に自動化とユーザーの快適性において、常に最新の機能を備えた開発を行っています。

自動化とは
alpha300 apyron は、装置のキャリブレーションからラマン測定、データ解析までのワークフロー全体が完全自動化されており、リモートコントロールが可能です。試料を交換する場合を除いて、顕微鏡に触れる必要はありません。

最適化されたパフォーマンス
alpha300 apyron は、比類のないイメージング品質で自動ラマンイメージングシステムの指標となっています。 同時に、最高のスペクトルおよび空間分解能、測定速度、信号感度を提供します。装置の全ての部分は、最高の透過効率と精度に最適化されています。さらに、モジュール設計によりシステム構成の自由度が保証され、アプリケーションの要求が変わっても、仕様要求を満たすことができます。豊富な種類の励起レーザー、 超高スループット分光計（UHTS）、検出器が選択可能です。

このツールは、多くの実績を持ち、90%以上の稼働率で、ウェハー装入時の迅速な立ち上がりが確実に保証されたプロセスが実現します。PlasmaPro 100シリーズは、MEMSやセンサー、光電子工学、個別素子、ナノ技術を含む、多くの市場分野に適用でき、それ以外にも対応できます。研究開発に活用できる柔軟性を持つとともに、製造ニーズにも対応できる構造も備えています。

• 広い電極温度範囲:-150℃～400℃
• 最大200mmサイズまでの、全てのウェハーが適合可能
• ウェハーサイズの迅速な交換が可能
• 所有コストが低く、保守が簡単
• 専有面積がコンパクトで、柔軟性のあるレイアウト
• その場チェンバー洗浄および終端決定が可能