当社クリーンルームにて各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。
設計・製造・技術の要
株式会社カナメックスです。
実機出展
・枚葉式スピン洗浄装置
ウエハ表面の有機物やパーティクルを洗剤や純水で物理洗浄（ブラシや高圧ジェットなど）、
純水リンス後、溶剤で置換しＮ２ガスブロー併用でスピン乾燥させます。
ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。 省薬液で低環境負荷の処理が行えます。
スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。
その他、パネル展示等
・枚葉スピン式自動ＲＣＡ洗浄装置
・マルチミキサー式自動スピンエッチング装置
・多段循環式自動スピンエッチング装置
・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置
・ＣＭＰ・各種研磨後用 スクラブ洗浄装置
・微細シリコン貫通電極用洗浄装置
減圧チャンバーにより貫通電極の洗浄が行えます。
・その他フォトリソ関連装置
（塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄）
・自動反転機構付きマスク洗浄装置（熱硫酸＋エキシマＵＶ付き）
・コーターデベロッパー
・ドライフィルム現像装置
・ドライフィルム剥離装置
・大型スピン現像装置 (□500㎜対応）
・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置
当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、
仕様決め迄トータルサポートします。
当社ブースへのご来場お待ちしております。