川崎重工業
港区海岸,
東京都
Japan
https://kawasakirobotics.com/jp/
小間番号5734
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出展製品
ウェハ搬送ロボットで世界をリードする川崎重工が未来に向けたベストソリューションを提供いたします。
出展製品
ウェハ搬送ロボット「NX420」
コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能。 ...
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・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~330 ㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ
・対応FOUP数:最大2FOUP
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502 マテリアルハンドリングシステム
ロボット;搬送システム
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