出展社詳細検索いただきありがとうございます。 京セラ株式会社 ファインセラミック事業本部です。
京セラは、ファインセラミックスのリーディングカンパニーとして、長年培ってきた高度な技術と開発力で、あらゆる産業の新製品や生産性の向上に貢献し技術社会の未来を拓きます。本展示会では、すべての技術者に知っていて欲しい「 ファインセラミックスの魅力 」を展示いたします。
※ファインセラミックスとは、機械、電磁気、熱、光学、生化学の特性を
高度かつ複合的に持たせることが可能な素材です。
「配線の微細化、多層化が進む半導体製造装置にセラミックスが広く採用されています。露光装置には、軽量高剛性なセラミックス、エッチングや成膜装置には、耐プラズマ性や低パーティクルに加え、耐熱性や、低誘電損失の特性をもつセラミックスの採用が拡大しています。ウェハー搬送アームでは、高精度で機械的特性の優れたセラミックスが採用されています。また、光透過性が必要な窓やウェハーキャリアプレート、ウェハーコンタクトリフトピン、プラズマ導入管などに、サファイアが使用されています。材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。」
独自の製法により薄肉で複雑形状が製作可能です。そのため、金属より低熱容量かつ軽量な冷却 · 熱交換用部材を製作でき、高冷却効率 · 省エネルギー化に貢献します。また、優れた耐薬品性によるメンテナンスの軽減が可能です。複雑形状を活かして、冷却 · 温調以外にも様々な用途に応用できます。