工苑

川崎市高津区,  神奈川県 
Japan
https://www.koenn.co.jp/
  • 小間番号2934


真空中で速い粗動と精密な微動をお考えなら、Nanomotion社の超音波モータを提案します!新製品も発表します。

半導体が製造される、クリーン、真空、非磁性、超高精度(サブナノメートルの分解能)など特殊環境下での使用に適合する超音波モータを中心に、半導体製造装置や試験・分析機器、ロボットなど、25 年以上の実績を誇り安心してご使用いただけるナノモーション社の超音波モータ製品群をご紹介します。


 出展製品

  • SEモータ ステージ
    ナノモーション社、最新の超音波モータ。 定番のHRモータに比べ同じく動力で足は2倍、そして消費電力は半分です ...

  • ■移動距離に制限がない
    ■1μ/sec~500mm/secまでの広い可変速範囲
    ■優れた動きおよび静止性能を持つ
    ■サブナノメートルの分解能(条件による)
    ■低消費電力
    ■高真空アプリケーション
  • FBステージ
    FBステージは、単一または多軸アプリケーションに使用できる標準モジュラーリニアステージ群です。 ステージは、クロスローラベアリング、リニアエンコーダおよびナノモーション超音波モータ(HRシリーズ)を採用しています。...

  • リニアステージの他に、回転ステージとしてFRS060があります。これは、直径60mmのセラミックリングと非接触光学エンコーダを組み合わせたクロスローラ回転ベアリングで構成されています。分解能は0.5arc秒です。
    また、くさび形のZステージとしてFBZやFZタイプ、ゴニオステージとしてFGタイプもあります。
    真空仕様品もあります。