ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。
TAIKOウエハ形状測定システム・ニデック社製干渉計組込自動機をリリース。
小口径から大口径ウエハまで測定可能で、自重（外力）補正を行う真の形状測定をはじめとして様々なSEMI規格に対応する非接触形状測定システム【Dyvoce（ダイボス）】をご紹介。 また、形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析するソフトウェアも紹介。