株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）を基盤に、シリコンをはじめ各種ウェーハの計測に不可欠な高精度の検査・測定装置を製造・販売いたしております。
主力装置は平坦度測定装置（TAIRAシリーズ）、エッジプロファイラー、ボウ・ワープ測定装置でございます。新型エッジプロファイラ―をはじめ、他に今後も成長が期待される3次元実装向け貼り合せウェーハのズレ量評価や、パワー半導体向けSiC/GaN/Ga2O3等の各種ウェーハ評価メニューも取り揃えております。
是非、当社ブースにお立ち寄りください。