四半世紀以上の持つミューグ社は、先進的な技術を常に取り込みながら、高品質のマイクロ波電源（CW:915MHz,2450MHz,5800MHz,およびパルス波）を、お客様の需要に応じて 300W ～ 100kW の幅広いラインナップでお届けしております。お客様の厳しい要求に対しても、ミューグ社の高い技術と経験に基づいたシステム設計技術、製造技術およびインテグレーション技術によって満足いただけるソリューションをご提供いたします。
お客様の多岐にわたるご要求に対応するために、ミューグ社では様々な出力・サイズの高電圧電源、マイクロ波電源およびプラズマソースのラインナップをを有しております。また、リニアプラズマソース、リモートプラズマソース、モジュラープラズマアレイ、その他 小型・中型・大型の誘導加熱装置なども有しております。
○MUEGGE社製品／システム
■プラズマソース・プラズマコンポーネント
■マイクロ波源ユニット
■プラズマシステム