製品名： 高精度ウエハ厚分布測定器
製品型式： TMS-2000
santec株式会社（本社 愛知県小牧市）は、光学測定器分野で培われた高速波長可変レーザの技術を干渉計測に応用して、高精度ウエハ厚分布測定器（以下「本製品」といいます。）を実用化致しました。本製品はSEMI規格に準拠した平坦度を、グローバル、サイト、エッジごとに1 nmの精度で計測できます。従来装置では温度変動や振動などの環境変化が有る場合には精度が低下してしまい、限られた使用方法となっていましたが、本製品はそのような環境変化にも高い耐性を有し、且つ小型、高速、低価格を実現しております。これによりインライン検査も含めた、幅広いアプリケーションへの導入が想定されます。
本製品の特長
● 高精度
ウエハの厚みや平坦度を1 nm（Typical）の精度で計測可能。
● 様々な計測パラメータに対応
グローバル平坦度（GFLR, GFLD, GBIR）、サイト平坦度（SFQR,
SFQD, SBIR）、エッジ平坦（ESFQR）解析が可能。
● 高い耐環境性
温度変化、振動の影響を受けにくい構成を採用（特許出願中）し、
特別な温度管理や振動対策は不要。
● 小型
高い耐環境性を有する事からシンプルな構成が可能で、
卓上サイズを実現。
● 高速
各パラメータの計測を30秒～最長2分で計測完了。