theta-SEの特徴
すべてが統合されたデザイン
theta-SEは300mmマッピングステージと微小測定スポットサイズ、高速サンプルアライメント、カメラ、そして最新の二重回転光学素子型技術を備えており、薄膜の膜厚と光学特性の均一性を評価するために必要な要素がすべて揃っています。
高速測定
測定ポイント間のステージの高速移動、高速サンプルアライメント、二重回転光学素子型技術によりスループットを最適化しています。
コンパクト
特許出願中のデュアルシータ回転ステージは小型の卓上機でありながら300mmのマッピング測定を可能にします。装置の設置面積は300mmウエハよりわずかに大きいだけです。
使いやすさ
自動データ解析および自動レポート作成機能によりワンタッチで測定と結果への迅速なアクセスを可能にします。
低価格
theta-SEはリーズナブルな価格で分光エリプソメトリー測定と300mmのマッピング測定を提供します。