芝浦エレテック

横浜市栄区笠間,  神奈川県 
Japan
https://www.shibaura.co.jp/eletec/
  • 小間番号2609

「心と技術で未来をつくるサービス会社」をモットーとして、お客様と共に成長し、
歩み続けられるように邁進いたします。
幅広い分野・業種の協力会社と連携し、芝浦エレテック独自のサービスを提供します。

■キノシステム®
 生産設備のリアルタイムの状況を把握できる「モニタリングサービスツール(キノシステム®)」を
 出展します。特徴は「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」
 「フレキシブルなカスタマイズ」。導入いただければ、故障の予知、メンテサイクルの最適化で
 生産設備の稼働と生産性が向上できます。
 また、キノシステム®で取得したデータから改善のアドバイス、データ分析、施工も実施します。
 お客様のニーズに合わせたカスタマイズにも対応します。
 ぜひ一度、機能の詳細を、現物を見てお試しください。

■ガスフローコントローラ
 従来のMFCの機能・性能を大幅に改善・向上させた「ガスフローコントローラ」を出展します。
 【MFCに対する優位性】
  ・キャリブレーション不要・0点ズレの解消・外圧力変動影響小
  ・極小流量制御
  ・リアルタイムモニタリング機能
   ⇒内部情報のリアルタイムモニタリング、情報アウトプット、
    常時リークチェック、自己診断機能搭載
  ・取付時にガス種を設定可能
  ・MFCの在庫数を削減
これまでの流量制御のイメージが変わります。ぜひ一度、機能の詳細を、現物を見てお試しください。

■半導体製造装置用 部品の精密洗浄と再生
 芝浦グループで培った技術を応用した「部品の精密洗浄と再生」を出展します。
 当社の優れた技術で、半導体装置部品の精密洗浄と高性能なアルマイト、
 高純度な溶射膜などを再生し、各種溶射膜を剥離するサービスを提供します。


 出展製品

  • モニタリングサービスツール(キノシステム®)
    設備の状況を 見える化! 故障の予知、メンテサイクルの最適化で 稼働率UP! 装置・設備でのトラブル原因の解明や安定稼働に! モニタリングサービスツール キノシステム®で お客様のご要望をフレキシブルに対応いたします。...

  • キノシステム®の特徴は「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」「フレキシブルなカスタマイズ」。です。
    導入いただければ、故障の予知、メンテサイクルの最適化で生産設備の稼働と生産性が
    向上できます。また、当社ではキノシステム®で取得したデータから改善のアドバイス、
    データ分析、施工も実施します。
    お客様のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現
    可能です。 

    半導体工場様向けのカスタム事例のご紹介もおこなっております。
     ■採用事例
       半導体前工程 :プロセストラブル調査、プロセス波形カスタマイズ 等
       電子部品開発 :プロセスモニタ 等
       製造ライン全般 :ラインモニタ、装置メンテ前後のDATA比較 等
  • ガスフローコントローラ
    従来のマスフローコントローラ(MFC)の機能・性能を大幅に改善・向上させたガスフローコントローラです。...

  • 従来のマスフローコントローラの課題
    •デポガス、腐食ガス(Cl2, SiH4等)による目詰まりや0点ずれを防ぎたい
    •マスフローコントローラのリークをなくしたい
    •より精度の高い流量制御を達成したい
    •マスフローコントローラで0.025sccmを制御したい
    •マスフローコントローラの応答性を改善したい
    •ガスを高速に切り替えるプロセスへ対応したい
    •上流側圧、下流側圧の変動によるプロセス影響を改善したい
    •ガス流量問題発生時、プロセス装置側、マスフローコントローラ側か原因を切り分けたい
    •マスフローコントローラの機差を改善したい
    •プロセス装置のガスラインを増やしたい
    •マスフローコントローラの在庫数を減らしたい etc.

    ガスフローコントローラで課題を解決!
    •広範囲な流量レンジ
    ⇒ Full Scale 0.5~100%
    •高精度な流量制御
    ⇒ Set Point +/-0.5%
    •高速な応答性(立ち上り/立ち下り速度)
    ⇒ ≦100ms@10-100% Full Scale
    ⇒ ≦300ms@0.5-10% Full Scale
    • 圧力/温度変動の影響を受けない
    ⇒ キャリブレーション不要
    •リアルタイムモニタリング機能
    ⇒ 30種以上の内部情報をリアルタイムでモニタリングし、情報のアウトプット、
    自己診断機能搭載