Advancing Tech & Innovation
世界No.1のシェアを誇るウェーハ洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、検査・計測装置など、多彩な半導体製造装置のラインアップを展示します。「AI」「IoT」「5G」「データセンター」「電気自動車」「自動運転」といった社会変革のコアデバイスとなる半導体。その製造を支える、SCREENの先進テクノロジーとイノベーションをご紹介します。
●スクラバ方式として業界初※の最大16チャンバを搭載。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量が大幅に向上
●8チャンバの「SS-3200」2台と比べ、フットプリントを27％削減。省スペースで優れたコストパフォーマンスを発揮
●制御システムを刷新し、製造工程のスマートファクトリー化に貢献。装置のIoT化や装置間の連携など、機能拡張も可能
※2020年12月時点での当社調べ
・ブラシと薬液の同時処理機能による高い洗浄能力で、ウェーハ裏面のパーティクルを除去
・緻密なノズル動作と薬液吐出制御機能によるコントロールエッチングで、高精度な面内均一性を実現し、ウェーハの反りを抑制
・独自のチャックシステムにより、ウェーハ端部のエッチング残渣レスと、デバイス面への薬液の回り込み防止を両立
・毎時650枚のハイスループットを実現
・7つの独立モジュールの組み合せによる、シンプルな装置構成
・減圧乾燥システム「HiLPD」を搭載し、ウォータマークを大幅に抑制。高濃度IPAによりパターン倒壊を防止
・従来比約2倍のスループットを実現
・1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能
・ 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能
・毎時最大1,200枚のスループット
・フットプリント30%削減 ※従来比
・プロセス性能の向上
・環境負荷（排気／窒素／薬液）の低減
・ビッグデータを活用した安定稼働
・カメラ監視によるトラブル防止