スペクトロニクス

吹田市,  大阪府 
Japan
https://www.spectronix.co.jp/
  • 小間番号3521

半導体及び実装基板、半導体製造・検査装置、電子部品の微細加工等(主に穴あけやパターニング)に使用されるレーザ装置に光源として各波長:深紫外(DUV:266nm)・紫外(UV:355nm)・グリーン(532nm)のピコ秒レーザ発振器を提供しております。また装置化に必要な光学系の提案、開発、販売も行っています。

また当社では加工ラボを保有し装置開発に必要となる加工条件をお客様と共同で検証する体制を整えており、積極的な加工提案を行うことでレーザ加工システムの開発をサポートしております。お気軽にご相談ください。


 出展製品

  • 8W DUVピコ秒レーザ LDH-X0810
    LDH-X0810は、SPX独自のLDGS方式により実現した世界唯一の266nm8Wピコ秒レーザです。 266nm波長はあらゆる材料への光吸収率が高く、加工難易度の高いガラスや樹脂などの透明材料や複数の材料が混ざった複合材の加工にも適しており、今までに無い高品質な加工が可能です。...

  • 【ビーム特性】
    波長:266nm(DUV)
    平均出力:>8W
    繰り返し周波数:200kHz~1000kHz
    パルス幅:<15ps
    ビーム径:φ4.5mm±0.5mm
    拡がり角:<0.5mrad (全角)
    空間モード:TEM00
    偏光方向:直線

    ●高パルスエネルギー
    機構内の固体増幅器を二重に組み込むことで、高出力化させ安定した高パルスエネルギーで効率的かつ高速に穴あけや切断などの加工が実現可能です。

    ●パルススプリットモード
    パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

    ●高速加工
    マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。
  • 16W UVピコ秒レーザ LDH-V1610
    LDH-V1610は、固体増幅器2段構成の高出力UVピコ秒レーザです。 355nm波長はガラス、樹脂、セラミックスなどの加工に適しており、穴あけや切断など様々な加工を高い品質で実現可能です。...

  • 【ビーム特性】
    波長:355nm(UV)
    平均出力:>16W
    繰り返し周波数:200kHz~1000kHz
    パルス幅:<15ps
    ビーム径:φ1.8±0.5mm
    拡がり角:<0.5 mrad (全角)
    モード品質:M2<1.4
    空間モード:TEM00

    ●高パルスエネルギー
    機構内の固体増幅器を二重に組み込むことで、高出力化させ安定した高パルスエネルギーで効率的かつ高速に穴あけや切断などの加工が実現可能です。

    ●パルススプリットモード
    パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

    ●高速加工
    マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。
  • 高ビーム品質UVピコ秒レーザ LDH-V0410
    電光シリーズのLDH-V0410は、ビーム品質にこだわり開発された発振器です。 355nm波長はガラス、樹脂、セラミックスなどの加工に適しており、より品質を重視する薄膜の穴開けやパターニング加工に最適な製品です。...

  • 【ビーム特性】
    波長:355nm(UV)
    平均出力:>4W
    繰り返し周波数:200kHz~1000kHz
    パルス幅:<15㎰
    ビーム径:3.0±0.5mm
    拡がり角:<0.3mrad
    モード品質:M2<1.2
    空間モード:TEM00
    偏光方向:直線

    ●高ビーム品質
    電光シリーズは数Wクラスの出力で対応できる加工に適しており出力を抑えている分、ビーム品質M²<1.2と今まで以上に高品位なレーザで高品質な加工に適用できます。

    ●パルススプリットモード
    パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

    ●高速加工
    マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。

    ●コンパクトタイプ
    画期的な設計により従来の発振器に比べて大幅な部品数の削除に成功し、約20kgの軽量化を達成しました。また、部品数を削減したことにより低価格化も実現いたしました。
  • 25Wグリーンピコ秒レーザ LDH-G2510
    LDH-G2510は、固体増幅器2段構成の高出力グリーンピコ秒レーザです。 532nm波長は低コストである上に取り扱いも他の波長と比較し、容易である事から、特に金属やセラミックス材料の加工機として多く導入されています。...

  • 【ビーム特性】
    波長:532nm(Green)
    平均出力:>25W
    繰り返し周波数:200kHz~1000kHz
    パルス幅:<15ps
    ビーム径:φ3.0±0.5mm
    拡がり角:<0.4 mrad (全角)
    モード品質:M2<1.3
    空間モード:TEM00
    偏光方向:直線

    ●高パルスエネルギー
    機構内の固体増幅器を二重に組み込むことで、高出力化させ安定した高パルスエネルギーで効率的かつ高速に穴あけや切断などの加工が実現可能です。

    ●パルススプリットモード
    パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

    ●高速加工
    マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。
  • 高ビーム品質グリーンピコ秒レーザ LDH-G0610
    電光シリーズのLDH-G0610は、ビーム品質にこだわり開発された発振器です。 薄膜の穴開けやパターニング加工に最適で、他の波長と比較しても低コストである上に取り扱いも容易なため薄いセラミックスや金属膜の加工に多く使われています。...

  • 【ビーム特性】
    波長:532nm(Green)
    平均出力:>6W
    繰り返し周波数:200kHz~1000kHz
    パルス幅:<15ps
    ビーム径:Φ3.0±0.5mm
    拡がり角:<0.4mrad
    モード品質:M2<1.2
    空間モード:TEM00
    偏光方向:直線

    ●高ビーム品質
    電光シリーズは数Wクラスの出力で対応できる加工に適しており出力を抑えている分、ビーム品質M²<1.2と今まで以上に高品位なレーザで高品質な加工に適用できます。

    ●パルススプリットモード
    パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。

    ●高速加工
    マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。

    ●コンパクトタイプ
    画期的な設計により従来の発振器に比べて大幅な部品数の削除に成功し、約20kgの軽量化を達成しました。また、部品数を削減したことにより低価格化も実現いたしました。