3M ™ 金属イオン除去フィルター （英名 : 3M™Metal Ion Purifier：略称 MIP）は、昨今の電子業界でのより厳しい金属低減要求に貢献するために開発をいたしました。3M 特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。薬液中の金属イオンを50ppt 以下レベル※ 1まで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEA などの溶剤やBARC などの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
※ 1：社内評価による