ソフトワークス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.softworks.co.jp/

• 小間番号3527

カスタマイズが可能な、高速３次元測定装置を提供いたします。

３次元のハンダフィレット測定装置をデモ展示致します。

本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。

 プレスリリース

• 新製品の超高速高精度３次元測定装置のご紹介 (20221028)

  本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。

• 全自動ＡＦＭ測定装置のご紹介 (20221028)

  全自動全数測定が可能なＡＦＭ測定装置になります。測定ワークを、カセットに装着しておけば、指定場所を全自動で測定いたします。今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。プローブもカーボンナノチューブを用いる事で、交換頻度も従来の１／１００のです。測定サンプルサイズも標準でφ３００ｍｍですが、ＰＤＦなどの大型基板にも、対応いたします。カセット数もご要望に応じクリーンルーム対応もございます。ナノレベルの表面粗さや、深さ２２μｍ迄の段差測定可能です。サンプル面に触れない、エッジクランプ式も選べます。

• 全自動ＳＩＣ検査装置のご紹介 (20221028)

  全自動全数全面測定が可能なスーパーマクロ検査装置になります。測定ワークを、カセットに装着しておけば、サンプル全面を全自動で測定いたします。今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。ＳＩＣや、Ｇａｎの内部欠陥を超高速で検査でき、（１視野１秒以下）サファイア基板の傷検査も可能です。測定サンプルサイズも標準でφ３００ｍｍ迄対応ですが、ＰＤＦなどの大型基板にも、対応いたします。カセット数も、ご要望に応じ表面、裏面、検査後の３カセット対応でクリーンルーム内での設置も可能です。サンプル面に触れない、エッジクランプ式も選べます。

 出展製品