大成技研

足立区,  東京都 
Japan
http://www.taiseigiken.com
  • 小間番号5635


高機能マグネットファイバーエレメントを三次元成型したエレメントを開発し、微粒子を吸着するトラップです。

“トラパック”とは、主に半導体・液晶製造装置・真空装置(イオン注入・CVD・エッチング等々)から排気されるガス反応性生物(微粉体)を除去する装置です。

特にイオン注入やCVD・エッチング装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回吸着と高機能マグネットエレメントによりシャットアウトします。

本装置はエレメントの圧力損失がほとんどなく、真空ポンプの前段と後段の両方に使え、既存のフィルターでは除去できない微粉体をたやすく処理する画期的な粉体トラップです。大幅なメンテナンスの工数削減と生産性の向上が約束されます。


 出展製品

  • 粉体除去装置 トラパック
    半導体、液晶工場でのドライポンプ保護及び配管、除害装置保護用の粉体トラップです。...

  • CVD、エッチング、インプラプロセスで粉体を捕集目的のトラップです。特殊のファイバーを使用する事で微細な粉体を捕集する事が可能です。