Prodrive Technologies B.V.

画像処理性能

- ラインレート: 1MHz                           - ダイナミックレンジ　      ：70dB

- ライン幅　　: 4k / 8k / 16k                 - QE @ Vis　　　　　　　   ： 90％

- 画素ピッチ　: 5 x 5 µm                        - QE @ UV (266nm) 　　　  ：65-85% (紫外線)

- Bpp 　　　　：12ビット                     - イルミネーションタイプ ：BSI

製品特徴

- 双方向TDI(Time Delay Integration)

- ARコーティング（およびQE）は、アプリケーションの波長に合わせることが可能です。

環境条件

- 動作温度： 0 - 60°C
- 湿度        ：20 - 80 % (非結露)
- 寿命　    ： 10年以上

システム仕様

- 電源　　  ： 12-24VDC; < 35 Watt

- 通信 　　 ：Quad CXP-12、カメラリンクハイスピード（クワッド/オクタル）

- 重量          ： < 2 kg

別途の開発を必要としない、既製品を用いた経済的かつ高効率のウェハステージの開発を進めています。

モーションステージシステムに関する総合的サービスを提供すると同時に、ご客様の抱えている課題を解決するためのレベルの高いソリューションを提供します。

サブナノレベル制御ができるモーションステージ

- 各種の制御機器 （サーボドライブ・コントローラー）

- 真空用コアレスリニアモーター

- アクティブ制振用ボイスコイル

- 制御ソフトウェアとインタフェースデザイン

- レーザ干渉計

使用されたプロドライブテクノロジーズの先端製品

- Poseidon X86 モーションコントローラ

- Apogee / Kepler インテリジェントサーボドライブ

- Gryphon 真空用コアレスリニアモーター

- Iris ボイスコイル

- PMP モーションコントロールソフトウェア

- Pinpoint レーザ干渉計 (*プロトタイプ)

- エアーベアリングソリューション

- 各種ケーブルアセンブリ

位置測定性能

- 各 MU のセンサー軸数  ：1 - 6　　　　　　　　　　- 動作距離                     ： 0 - 6000 mm
- ターゲット速度　　　  ： 0 - 1 m/s            　　　　　- センサー分解能         ： 25 pm
- センサーの再現性　      ： 200 pm ( 真空環境 )
- 各軸の測定帯域幅　　  ： 40 MHz (光学)　　　　　  - 信号の安定性 (2.5s)  ： 0.1nm
　  　　　　　　　　　  ：5 MHz デジタル出力
- 温度ドリフト 　　  　  ：< 50nm / C

環境条件
- 温度                   ：15 - 35 C
- 圧力                   ： 高真空 - 常温
- 湿度                   ： 0 - 95 % (結露しない)
- 寿命                   ： 10年以上

システムの構成
- 出力　　　　　　　　 ： Sin/Cos、S0S90、ENDAT、EtherCat G/G10
- 電源　　　　　　　　 ： 12VDC、8W
- 設定インターフェース： Webベース、PMPベース
- ファイバー長　　　　 ： 最大5m
- レーザー光源波長　　 ： 1550nm; クラス3B