弊社ブースでは、材料、部品、半導体デバイスなどのあらゆる研究／開発フェーズにおけるオン・ウェハ特性評価や信頼性試験、不良解析などの作業効率化と導入コストの低減へのソリューションとともに、量産テストに貢献するソリューションをご提案します。
展示ブースでご紹介する製品／ソリューション
量産向け試験装置 半導体パラメトリック・テスト・システム
ケースレーS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システムは、量産向けの試験装置です。今夏、最新ソフトウェアバージョンKTE V7.1.3をリリースし、パラレルテスト機能(ソフトウェア・オプション)が追加されました。これにより、更なる測定速度の向上とテスト・コストの削減を実現することが可能です。またS530の高電圧版システム(S530HV)では、パワー半導体やワイド・バンド・ギャップ半導体のための独自の高電圧における容量測定オプションが追加されました。これらをご紹介します。
【展示製品】S530パラメトリック・テスタ(HVオプション)、2シリーズMSOオシロスコープなど
信頼性試験/バーンイン試験/長時間ストレス試験など並列試験が可能！多点測定
多数の観測点からのデータ収集が可能なDAQ(Data Acquisition)システムを展示します。ケースレーは豊富なスイッチ群と高精度DMMを提供しています。また他の機器と組み合わせることで他にはないシステムを構築してきました。高速自律処理が可能なTSP®スクリプト と ACS® などの統合ソフトウェアにより、信頼性試験、バーンイン試験、長時間ストレス試験などで100個を超えるデバイスの並列試験が可能です。また恒温槽での試験、プローバでのオン・ウェハ試験の両方で多数の実績がございます。展示ではそれらを実機と共にご紹介します。
【展示製品】自動特性評価ソフトウェア（ACS）、2636B型2chシステム・ソースメータなど
材料、半導体デバイス評価に最適！究極の半導体パラメータ・アナライザ
最先端半導体デバイスの評価に最適な半導体パラメータ・アナライザ4200Aを最新バージョンのClariusソフトウェアと共に展示致します。高感度IV測定、インピーダンス測定、超速IV測定のモジュールとそれらをシームレスで切り替える自動切り替えスイッチをサポートし、半導体デバイスの評価アプリケーションはもちろん、パワー半導体、ナノデバイス、先端材料評価に至るまで幅広い測定アプリケーションをカバーしています。
【展示製品】半導体パラメータ・アナライザ4200A-SCS、マルチスイッチ4200A-CVIV、4225-RPMなど
基本計測器を素早く統合！自動測定ソリューション
KickStartソフトウェアは、テスト・ベンチでよく利用される様々な基本測定器であるデータロガー、オシロスコープ、デジタル・マルチメータ、電源、SMU、任意波形/ファンクション・ジェネレータを素早く統合できます。展示ブースでは、テストのセットアップとデータの素早い視覚化や、オシロ+AFGなど、異なる計測器を組み合わせた自動計測デモをご紹介します。
【展示製品】バッテリ・シミュレータ2281S-20-6、データロガーDAQ6510、SMU2461、2シリーズMSOオシロスコープ、任意波形ファンクション・ジェネレータAFG30000シリーズなど
GaN,SiC波形の可視化／ダブル・パルス・テスト
次世代オシロスコープ、6シリーズB MSOは世界トップの低ノイズ性能に加え、12ビットADC搭載、最高16ビットの垂直分解能、周波数帯域は1GHz～10GHz、最大チャンネル数は8チャンネルです。このオシロスコープとAFG31000シリーズ任意波形／ファンクション・ジェネレータを組み合わせることで、 パワーデバイスのスイッチング・パラメータを測定するためのダブル・パルス・テストが実行できます。TIVPシリーズは光アイソレーション技術により完全にガルバニック絶縁可能なIsoVu技術による革新の差動ブローブです。GaN/SiCのハイサイド等、従来コモンモード・ノイズに隠れていた波形が観測可能です。
【展示製品】SMU（2657A/2651A）、IsoVu絶縁プローブ、6シリーズB MSOオシロスコープ、高電圧差動プローブ（TMDP0200/THDP0200）、電流プローブTCP0020、任意波形/ファンクション・ジェネレータAFG31102、電源2230GJなど