東京エレクトロンは半導体製造装置を中核とし、最先端の技術と確かなサービスで、 これからも世界を舞台に挑戦してまいります。 本年度は、装置、Patterning、FEOL、BEOL 各プロセスの展示に加え、 パーツ・中古装置・アップグレードなどのサービスもご紹介しております。 ぜひ当社ブースへお立ち寄りください。