半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。
弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測・制御機器をご紹介します。
既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能なため、配管の施工が不要です。
配管内は実質的にクリーンに保たれます。
半導体製造装置などのクリーン度を要求されるプロセスに最適です。
半導体製造装置等のクリーン度を要求されるプロセスに最適です。
検出器：UCL（大口径・小口径）
変換器：SFC010C（1CH)、SFC011C（6CH)