東京電子

国分寺市,  東京都 
Japan
http://www.toel.co.jp
  • 小間番号2834

ステンレスに代わる真空構造材 0.2% BeCu合金製品のご紹介。

超・極高真空対応:                                            ・10-12Pa の測定が可能なイオンゲージ 3BG                                 ・10-13Pa の分圧測定が可能な質量ガス分析計 WATMASS                          ・BeCu合金製 真空配管および、チャンバー・その他、各種 NEG ポンプ


 出展製品

  • デバイスの破壊/非破壊分析の受託分析サービス
    半導体デバイス等を破壊/非破壊での高感度質量ガス分析の受託分析サービスを開始しました。 半導体デバイス製品のプロセス評価、品質管理・工程解析と、質量ガス分析装置導入前の評価にご活用下さい。...

  • デバイスを破壊/非破壊 高感度質量ガス分析で、 品質管理・工程解析に貢献します。

    アプリケーション例(蓄積法)
     破壊分析
    ●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
    ●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
    ●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
     非破壊分析
    ●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

    受託分析サービス(東京電子Lab)
    ・プロセス評価
    ・デバイスの品質管理、品質解析
    ・分析装置導入前の評価、条件出し

  • ミニマル装置用0.2%BeCuチャンバー
    低ガス放出・低温保持のミニマル装置用 0.2%BeCuチャンバー(スパッタ用、MBE用)は、デバイスの高品質化、冷却設備の簡便化が実現できます...


  • 0.2%BeCuの特性により、SUS製チャンバーと比べ、低ガス放出、低温保持が可能となり、プロセス性能の改善に貢献します。

    ラインナップ
    ●ミニマルスパッタ装置用0.2%BeCuチャンバー
    ●ミニマルMBE用.2%BeCuチャンバー

  • WATMASS SYSTEM 高感度質量ガス分析装置
    超低ガス放出Q-mass(WATMASS)の技術と超低ガス放出真空構造材(0.2%BeCu合金)の 技術を組み合わせた完全封止法による新しい発想の質量ガス分析装置です。 半導体デバイス等を、破壊もしくは非破壊で発生するガスを、超高感度質量ガス分析計で分析できます。 プロセス評価、品質管理・工程解析にご活用下さい。 ...

  • WATMASS System
    分析室で半導体デバイス等を破壊もしくは、非破壊で発生するガスを超高感度質量ガス分析計で分析する装置です。

    アプリケーション例(蓄積法)
     破壊分析
    ●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
    ●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
    ●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
     非破壊分析
    ●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

  • 真空構造材0.2%BeCu合金
    超低ガス放出Q-mass(WATMASS)の技術と超低ガス放出真空構造材(0.2%BeCu合金)の 技術を組み合わせた完全封止法による新しい発想の質量ガス分析装置です。 半導体デバイス等を、破壊もしくは非破壊で発生するガスを、超高感度質量ガス分析計で分析できます。 プロセス評価、品質管理・工程解析にご活用下さい。 ...

  • 低ガス放出の0.2%BeCu合金でXHVを実現・測定します。

    製品ラインナップ
    ●Magic Nipple
    ●0.2%BeCu フランジ、キューブ、チャンバー部品be
    ●3B-Gauge 極高真空空計
    ●WATMASS 超低ガス放出質量ガス分析計
    ●Magic NEG  ポンプ
    ●0.2%BeCu製品を組み合わせた極高真空装置

  • マジックNEGポンプ
    マジックNEGポンプは、低価格のNEGポンプです。 低輻射、高熱伝導性の0.2%BeCuのケーシングで自己ガス放出を大幅に低減し、 XHV発生が容易です。ICF70仕様とICF114仕様をラインナップしています。...

  • 0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス(水素)放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。
    マジックNEGポンプの最大の魅力は、 低価格のICF70タイプおよび, ICF114タイプをご提供可能です。 NEGが初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。