弊社ブースでは応力測定装置・膜厚測定装置・マクロ検査装置を取り扱っております。「薄膜ストレス測定装置」、「光干渉式膜厚測定装置」は実機の展示を致します。是非ご覧ください。
スポット測定の膜厚計では大口径になるほど全面測定が難しく、見逃しがちなムラを高速・高感度に画像コントラストとして表示が可能です。
300ｍｍ自動化や上位通信にも対応し、お客様に最適な装置を提案します。自社開発のソフトアルゴリズムでより高速かつ柔軟な検査モデルを構築できます。
300mmウェハを1スキャン測定で、PLS0.3um以上の異物検査に対応出来る光学系もラインナップしております。