SVCS Process Innovation s.r.o.
イノベーションが未来を創る
SVCSプロセスイノベーションは、熱反応炉およびCVD（化学気相成長法）装置の領域におけるナノサイエンス技術のためにソリューションを提供し、これらは大量生産、要求が厳しい研究開発あるいはパイロットプロジェクト用途に用いられます。このツールは半導体、太陽電池、MEMS製造およびその他のナノ技術応用の各分野、多くの研究領域におけるプロセス開発および材料の成長のために使用することができます。代表的なプロセスは、アニーリング、ボロンおよびリン拡散、酸化物、窒化物、TEOS、ポリシリコン、金属酸化物成長等です。
CVD装置、熱反応炉およびプラズマシステム等の科学機器の刷新およびアップグレードのための製造、サービスも提供します。この改修パッケー ジの主要な部分は、社内で開発されたUNIXベースの制御システムであり、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。この制御システムは、H2、 O2、HCl、SiH4、POCl3、BBr3、TEOS、TMA、DEZ等の超高純度ガス、液体およびプリカーサー蒸気供給システムでも利用することが可能です。