お客様のニーズにお応えする【トータル・ガス・マネジメント】のサービス・ソリューションをご紹介いたします
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日々変化し続ける社会に対応すべく「品質」「安全」「技術」「環境」の4つの切り口で 【ガスの入口から出口まで】お客様のニーズにお応えする 【トータル・ガス・マネジメント】のサービス・ソリューションをご紹介いたします
【注目製品】 ☆SiCパワーデバイス用 超高温熱処理装置 「Ailesicシリーズ」【業界シェアNo.1】 ☆液種判別センサ 「ES-5000シリーズ」 ☆液体材料気化供給設備 「Precision Gas Mixer」 ☆ガス濃度計 「BGA244シリーズ」 ☆高感度質量分析装置 「ASTON Impact」
【取扱製品】 ☆APTech社製プロセスガス用圧力調整器・バルブ ☆液体材料供給装置 「ANESYSシリーズ」 ☆CMP用スラリー供給装置 ☆ALD装置 ☆ヘリウムガス回収装置 など、他多数
エピタキシャルシリコン成長装置向け、トリクロロシラン(TCS)気化供給装置で、蒸発器と凝縮器から構成される単蒸留装置です。精密な定圧制御装置を付加し高度に濃度制御されたトリクロロシラン/水素混合ガス(TCS/H2)を発生させます。
「ASTON Impact」は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。 コストパフォーマンスと使い勝手を追求した電子イオン化イオン源モデルです。
省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることができます。