長野計器

大田区,  東京都 
Japan
http://www.naganokeiki.co.jp
  • 小間番号1712

 出展製品

  • ZT11 半導体産業用圧力センサ
    蒸着形半導体歪ゲージを用いた半導体用圧力センサです。安全増防爆構造品をラインアップし、機器使用時の安全性を更に向上しました。...

    • ● 温度特性が向上（±0.02％F.S./℃）
    ● ゼロ点調整機構をケース側面に設けて作業性向上
    ● ゲージ圧（正圧・連成）レンジに加え、絶対圧レンジをラインアップ
    ● 安全増防爆構造品をラインアップ
  • ZT17 高温用圧力センサ
    200℃までの計測に対応！ 半導体製造プロセスの高温用途に対応した圧力センサ...

    • 〇200℃の高温計測
    　新規開発の圧力センサ素子を搭載し、200℃計測に対応
    〇高精度な高温計測を実現
    　温度特性
    　　ZERO ： ±1.0%F.S.
    　　SPAN ： ±3.0%F.S.
    　　（温度補償範囲15～200℃）
    〇測定ガスの滞留を最小限に抑制
    　ガス供給系に適した溶接構造
    　特殊表面処理技術

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